[發明專利]一種離線PECVD插片機

在審

• 申請號: 201711329577.7
• 申請日: 2017-12-13
• 公開（公告）號: CN107993969A
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發明（設計）人: 辛朋朋
• 申請（專利權）人: 昆山豪恩特機器人自動化科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683;H01L21/66
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及插片機領域，具體是一種離線PECVD插片機。

背景技術

全自動插片機，機械設備。該設備解決了硅片在清洗前手工裝清洗籃的問題，完全實現了自動分料，自動上料，自動入籃，自動換籃，料滿報警等動作。使用該設備后，可以實現硅片插片的基本去手工化工作，除去上下物料外，無需手工在逐片操作。

一種離線PECVD插片機的出現大大方便了插片，但是目前階段的一種離線PECVD插片機存在諸多的不足之處，例如，效率低，安全性能差，無法對損壞碎片進行自動剔除。

發明內容

本發明的目的在于提供一種離線PECVD插片機，以解決現有技術中的效率低，安全性能差，無法對損壞碎片進行自動剔除的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種離線PECVD插片機，包括機架，所述機架的一端的內部安裝有花籃傳輸機構，所述花籃傳輸機構的一側安裝有跑道電機，所述花籃傳輸機構的一端安裝有應急按鈕，所述花籃傳輸機構上安裝有花籃跑道，所述機架的一端的一側安裝有電氣箱，所述電氣箱上安裝有控制面板，所述花籃傳輸機構的另一端安裝有硅片傳輸機構，所述硅片傳輸機構上安裝有電池片跑道，所述電池片跑道的下方的一側安裝有頂升剔片機構，所述頂升剔片機構的下方安裝有頂升氣缸，所述機架的中間位置處的頂部安裝有視覺檢測機，所述機架的另一端安裝有升降防護板，所述升降防護板的內側的上方的一側安裝有石墨舟定位機構，所述升降防護板的內側的上方的另一側安裝有線軌和傳動絲桿。

優選的，所述硅片傳輸機構與花籃傳輸機構相互垂直。

優選的，所述花籃傳輸機構的一端安裝有花籃升降機構。

優選的，所述機架內，且位于石墨舟的上方安裝有高精度抓取機構。

優選的，所述花籃傳輸機構共設置有多個，且多個花籃傳輸機構分為雙層，且雙層花籃傳輸機構之間通過花籃升降機構傳動。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：本發明通過電氣箱控制的全自動化機構，不但方便了操作，且增大了安全性，且在裝置上安裝有視覺檢測機，通過視覺檢測機可以對插片過程進行實時監測，在硅片傳輸機構的下方安裝有頂升剔片機構，通過頂升剔片機構配合視覺檢測機可以對碎片進行自動剔除，增大了裝置的功能性。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖。

圖2為本發明的花籃傳輸機構的結構示意圖。

圖3為本發明的硅片傳輸機構的結構示意圖。

圖4為本發明的石墨舟定位機構的結構示意圖。

圖中：1-視覺檢測機、2-花籃傳輸機構、3-跑道電機、4-電氣箱、5-控制面板、6-硅片傳輸機構、7-機架、8-石墨舟定位機構、9-升降防護板、10-花籃跑道、11-應急按鈕、12-電池片跑道、13-頂升氣缸、14-頂升剔片機構、15-線軌、16-傳動絲桿。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。