[發(fā)明專利]一種離線PECVD插片機

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711329577.7
• 申請日: 2017-12-13
• 公開（公告）號: CN107993969A
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發(fā)明（設計）人: 辛朋朋
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山豪恩特機器人自動化科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683;H01L21/66
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種離線PECVD插片機，包括機架（7），其特征在于:所述機架（7）的一端的內(nèi)部安裝有花籃傳輸機構(gòu)（2），所述花籃傳輸機構(gòu)（2）的一側(cè)安裝有跑道電機（3），所述花籃傳輸機構(gòu)（2）的一端安裝有應急按鈕（11），所述花籃傳輸機構(gòu)（2）上安裝有花籃跑道（10），所述機架（7）的一端的一側(cè)安裝有電氣箱（4），所述電氣箱（4）上安裝有控制面板（5），所述花籃傳輸機構(gòu)（2）的另一端安裝有硅片傳輸機構(gòu)（6），所述硅片傳輸機構(gòu)（6）上安裝有電池片跑道（12），所述電池片跑道（12）的下方的一側(cè)安裝有頂升剔片機構(gòu)（14），所述頂升剔片機構(gòu)（14）的下方安裝有頂升氣缸（13），所述機架（7）的中間位置處的頂部安裝有視覺檢測機（1），所述機架（7）的另一端安裝有升降防護板（9），所述升降防護板（9）的內(nèi)側(cè)的上方的一側(cè)安裝有石墨舟定位機構(gòu)（8），所述升降防護板（9）的內(nèi)側(cè)的上方的另一側(cè)安裝有線軌（15）和傳動絲桿（16）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離線PECVD插片機，其特征在于：所述硅片傳輸機構(gòu)（6）與花籃傳輸機構(gòu)（2）相互垂直。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離線PECVD插片機，其特征在于：所述花籃傳輸機構(gòu)（2）的一端安裝有花籃升降機構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離線PECVD插片機，其特征在于：所述機架（7）內(nèi)，且位于石墨舟的上方安裝有高精度抓取機構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離線PECVD插片機，其特征在于：所述花籃傳輸機構(gòu)（2）共設置有多個，且多個花籃傳輸機構(gòu)（2）分為雙層，且雙層花籃傳輸機構(gòu)（2）之間通過花籃升降機構(gòu)傳動。