[發明專利]一種用于固晶機的推頂系統在審
| 申請號： | 201711326385.0 | 申請日： | 2017-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN108054129A | 公開（公告）日： | 2018-05-18 |
| 發明（設計）人： | 湯志鵬;殷海濤 | 申請（專利權）人： | 蘇州聚進順自動化科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/683 | 分類號： | H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 固晶機 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于固晶機的推頂系統，包括頂針和驅動裝置，其特征是，還包括一導軌座，所述驅動裝置驅動一移動座在導軌座內上下運動，所述導軌座具有空腔，所述導軌座上空腔兩側設置有滑軌，所述移動座兩側均與滑軌相連，所述導軌座兩側設置有固定座，所述固定座上設置有通孔，所述通孔連接真空設備，所述移動座上設置有頂針。
2.根據權利要求1所述的一種用于固晶機的推頂系統，其特征是，所述頂針包括頂針座和頂針尖，所述頂針座設置有連接腔，所述頂針尖設置有連接腔對應的連接件。
3.根據權利要求2所述的一種用于固晶機的推頂系統，其特征是，所述連接腔的橫截面非圓形。
4.根據權利要求1所述的一種用于固晶機的推頂系統，其特征是，所述移動座上設置有支撐頂針的頂桿，所述頂桿上設置有與頂針相連的連接部。
5.根據權利要求4所述的一種用于固晶機的推頂系統，其特征是，所述頂桿設置有兩個，所述連接部為半圓形，一鎖緊環連接兩個頂桿的連接部。
6.根據權利要求4所述的一種用于固晶機的推頂系統，其特征是，所述連接部處設置有彈性墊。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于蘇州聚進順自動化科技有限公司，未經蘇州聚進順自動化科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201711326385.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種廢鍍錫銅米的物理分離回收方法
- 下一篇：用于禽類的水洗裝置
- 同類專利
- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
