[發明專利]一種固晶機的頂針裝置在審

申請號：	201711326205.9	申請日：	2017-12-13
公開（公告）號：	CN108054128A	公開（公告）日：	2018-05-18
發明（設計）人：	湯志鵬;殷海濤	申請（專利權）人：	蘇州聚進順自動化科技有限公司
主分類號：	H01L21/683	分類號：	H01L21/683;H01L21/687
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	215000 江蘇省蘇***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種固晶機頂針裝置
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【權利要求書】：

1.一種固晶機的頂針裝置，包括頂針裝置和驅動裝置，其特征是，所述頂針裝置包括固定座，所述固定座內設置有可在固定座內上下移動的頂針，所述頂針通過驅動裝置驅動其上下運動，所述固定座上設置通孔和頂針孔，所述通孔連接真空設備，所述頂針孔與頂針位置相對應；所述頂針包括依次相連的第一部分、第二部分和第三部分，所述第三部分外套設有導向軸承，所述第二部分直徑大于導向軸承的內徑。

2.根據權利要求1所述的一種固晶機的頂針裝置，其特征是，所述導向軸承外套設有彈性墊圈。

3.根據權利要求1所述的一種固晶機的頂針裝置，其特征是，所述固定座內設置有限位件，所述第二部分設置有限位件對應的卡槽。

4.根據權利要求1所述的一種固晶機的頂針裝置，其特征是，所述頂針一體成型。

5.根據權利要求1所述的一種固晶機的頂針裝置，其特征是，所述第一部分外套設有彈簧，所述彈簧的直徑大于頂針孔的直徑。

6.根據權利要求1所述的一種固晶機的頂針裝置，其特征是，所述通孔設置有多個，并且均勻的設置在頂針孔周圍。

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