[發(fā)明專利]一種金剛線切割多晶硅片的預制絨方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711323884.4 | 申請日： | 2017-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN108130599A | 公開（公告）日： | 2018-06-08 |
| 發(fā)明（設計）人： | 范維濤;蘇楊楊;龔小文;胡晨暉;張鑫 | 申請（專利權）人： | 維科誠（蘇州）光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/0236;H01L31/18 |
| 代理公司： | 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 32103 | 代理人： | 汪青;周敏 |
| 地址： | 215121 江蘇省蘇州市工*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多晶硅片 線切割 絨面 硅片 預制 雙氧水 氨水 電池片效率 絨面反射率 表面制備 電池車間 電池工藝 多晶制絨 工藝處理 混合溶液 硝酸溶液 亞微米級 砂漿 工藝流程 可調節(jié) 匹配度 酸制絨 制絨液 產線 多晶 制備 匹配 切割 車間 | ||
1.一種金剛線切割多晶硅片的預制絨方法，其特征在于：包括如下步驟：
步驟（1）、在15℃~30℃下，采用制絨液對金剛線切割多晶硅片進行處理30~100秒以制得絨面；其中，所述的制絨液中含有0.005~0.2mol/L的金屬離子、1~1.5 mol/L的HF、0.9~1.2mol/L的氧化劑；
步驟（2）、采用質量濃度為20%~67%的硝酸溶液對經步驟（1）處理后的多晶硅片進行處理10~80秒以除去多晶硅片表面的金屬離子；或者，采用氨水與雙氧水的混合溶液對經步驟（1）處理后的多晶硅片進行處理，其中，所述的混合溶液中所述的氨水與所述的雙氧水的質量濃度獨立地為20%~40%，所述的混合溶液中所述的氨水與所述的雙氧水的質量濃度比為1：1~2。
2.根據(jù)權利要求1所述的金剛線切割多晶硅片的預制絨方法，其特征在于：步驟（1）中，所述的金屬離子為選自銀離子、銅離子、鎳離子中的一種或多種。
3.根據(jù)權利要求2所述的金剛線切割多晶硅片的預制絨方法，其特征在于：步驟（1）中，當所述的金屬離子為選自銀離子、銅離子、鎳離子中的兩種時，所述的金屬離子的總濃度為0.005~0.2mol/L，兩種所述的金屬離子的濃度比為1：1~10。
4.根據(jù)權利要求1或2或3所述的金剛線切割多晶硅片的預制絨方法，其特征在于：步驟（1）中，所述的混合溶液中的金屬離子以金屬鹽的形式投料。
5.根據(jù)權利要求1所述的金剛線切割多晶硅片的預制絨方法，其特征在于：步驟（1）中，所述的氧化劑為H2O2和/或HNO3。
6.根據(jù)權利要求1所述的金剛線切割多晶硅片的預制絨方法，其特征在于：步驟（1）中，所述的反應溫度為20℃~25℃，反應時間為60~70秒。
7.根據(jù)權利要求1所述的金剛線切割多晶硅片的預制絨方法，其特征在于：步驟（2）的反應溫度為35℃~45℃，反應時間為50~70秒。
8.根據(jù)權利要求1所述的金剛線切割多晶硅片的預制絨方法，其特征在于：步驟（2）中，所述的硝酸溶液的質量濃度為45%~50%。
9.根據(jù)權利要求1所述的金剛線切割多晶硅片的預制絨方法，其特征在于：所述的預制絨方法還包括步驟（1）和步驟（2）之間的水洗步驟、步驟（2）之后的水洗步驟。
10.根據(jù)權利要求9所述的金剛線切割多晶硅片的預制絨方法，其特征在于：所述的預制絨方法還包括步驟（2）后的水洗步驟后的甩干或風干步驟。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于維科誠（蘇州）光伏科技有限公司，未經維科誠（蘇州）光伏科技有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201711323884.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
