[發明專利]柔性顯示面板的制作方法

有效

• 申請號: 201711322932.8
• 申請日: 2017-12-12
• 公開（公告）號: CN108054297B
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 包潘飛
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂;聞盼盼

本發明提供一種柔性顯示面板的制作方法，通過在剛性承載板與柔性顯示面板的柔性基板之間設置犧牲層，所述犧牲層包括第一犧牲層及位于所述第一犧牲層外圍且與其緊密相連的第二犧牲層，所述犧牲層的設置能夠在激光剝離制程中減少或避免激光與柔性基板的直接接觸，降低柔性基板受損的可能性；另外，通過在第一犧牲層外圍設置第二犧牲層，能夠加速熱量的橫向傳輸，減少熱量的縱向傳輸，從而避免激光剝離制程中產生的熱量對TFT層與OLED發光層造成損傷，提升柔性顯示面板的生產良率。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種柔性顯示面板的制作方法。

背景技術

有機電致發光(Organic Light Emitting Display，OLED)顯示面板由于具有柔性可彎折、高對比度以及反應時間短等優勢，正在逐步替代液晶顯示面板(LCD)，成為具備革命性的下一代顯示產品，但是，OLED顯示面板由于其價格高以及壽命相對較短等原因，限制了其發展普及，OLED顯示面板生產過程中的良率較低問題一直成為限制其價格下降的重要因素。

柔性OLED顯示面板是OLED顯示面板的一個重要分支，在生產過程中需要先使用玻璃基板作為支撐基板，在玻璃基板上形成柔性PI(聚酰亞胺)基板與顯示器件層，之后對其進行激光剝離(LLO)，使得玻璃基板和PI基板分離。目前PI基板和玻璃基板的結合與分離方式主要有兩種：第一種為：固態的PI基板通過離形層(De-bonding layer，DBL)和玻璃基板相結合，之后進行LLO，進行LLO時，將激光焦點位于DBL處，使得其粘合力下降，致使PI基板和玻璃基板分離；第二種為：如圖1所示，將PI液310涂覆在玻璃基板200上，經過固化形成與玻璃基板200相結合的PI基板300，之后進行LLO，進行LLO時，激光的焦點位于玻璃基板200與PI基板300的界面處，使得二者間的分子間作用力減弱，致使二者分離。

以上兩種PI基板和玻璃基板的結合與分離方式中，第二種方式應用比較普遍，上述第二種方式中，由于PI基板300由PI液涂覆形成，因此PI基板300和玻璃基板300緊密結合，LLO過程中激光的焦點可能會達到PI基板300，對PI基板300造成損傷；另外，LLO過程中PI基板300和玻璃基板300的界面處會產生大量熱量，這些熱量可能通過PI基板300向TFT層400與OLED發光層500傳輸，致使TFT層400內部的精密電路受損，并且OLED發光層500中有機發光材料的耐熱性較差，因此可能降低柔性OLED顯示面板的出光效率并縮短其使用壽命。特別是當柔性OLED顯示面板的尺寸較大時，需要進行多次往返LLO制程，這樣就更容易導致柔性OLED顯示面板受損。

圖2為激光剝離制程導致柔性OLED顯示面板受損的示意圖，如圖2所示，進行LLO時，激光輸出部100從左向右掃描，圖2的左圖中虛線箭頭方向表示熱量傳輸方向，LLO過程中，激光的焦點位于玻璃基板200與PI基板300的界面處，易使PI基板300出現穿孔現象，圖2的右圖中PI基板300中的橢圓形圖案即代表PI基板300上的孔洞350；另外，LLO過程中，熱量會透過PI基板300向TFT層400和OLED發光層500傳輸，使TFT層400和OLED發光層500受熱過多，由于TFT層400含有大量精密電路，OLED發光層500含有有機發光材料，因此傳輸的大量熱量會造成TFT層400和OLED發光層500損傷并影響其使用壽命。

發明內容

本發明的目的在于提供一種柔性顯示面板的制作方法，能夠在激光剝離制程中減少或避免激光與柔性基板的直接接觸，降低柔性基板受損的可能性；并且避免激光剝離制程中產生的熱量對TFT層與OLED發光層造成損傷，提升柔性顯示面板的生產良率。

為實現上述目的，本發明提供一種柔性顯示面板的制作方法，包括如下步驟：

步驟1、提供剛性承載板，在所述剛性承載板上形成犧牲層；所述犧牲層包括第一犧牲層及位于所述第一犧牲層外圍且與其緊密相連的第二犧牲層；所述第二犧牲層包括在所述剛性承載板上從下至上依次層疊設置的反射層、熱傳輸層及絕緣隔熱層；