[發明專利]柔性顯示面板的制作方法

有效

• 申請號: 201711322932.8
• 申請日: 2017-12-12
• 公開（公告）號: CN108054297B
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 包潘飛
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂;聞盼盼

1.一種柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1、提供剛性承載板(10)，在所述剛性承載板(10)上形成犧牲層(20)；所述犧牲層(20)包括第一犧牲層(21)及位于所述第一犧牲層(21)外圍且與其緊密相連的第二犧牲層(22)；所述第二犧牲層(22)包括在所述剛性承載板(10)上從下至上依次層疊設置的反射層(221)、熱傳輸層(222)及絕緣隔熱層(223)；

步驟2、在所述犧牲層(20)上形成柔性基板(30)；

步驟3、在所述柔性基板(30)上形成顯示器件層(40)，所述柔性基板(30)及位于其上方的顯示器件層(40)共同構成柔性顯示面板(50)；

步驟4、采用激光剝離制程使第一犧牲層(21)與剛性承載板(10)分離，從而實現柔性顯示面板(50)于第一犧牲層(21)的位置與剛性承載板(10)分開；

步驟5、采用物理作用的方式使第二犧牲層(22)與剛性承載板(10)分離，從而實現柔性顯示面板(50)于第二犧牲層(22)的位置與剛性承載板(10)分開。

2.如權利要求1所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述第一犧牲層(21)與第二犧牲層(22)的上表面齊平；所述第一犧牲層(21)與第二犧牲層(22)的厚度均為10μm-15μm；所述剛性承載板(10)為玻璃基板；所述第一犧牲層(21)的材料為金屬氧化物。

3.如權利要求1所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述反射層(221)的材料包括銀；所述反射層(221)的厚度為1μm-2μm。

4.如權利要求1所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述熱傳輸層(222)的材料為高熱導率層狀結構材料或者高熱導率金屬材料；所述高熱導率層狀結構材料為石墨或者石墨烯；所述高熱導率金屬材料包括鋁、鐵、鉛中的一種或多種；所述熱傳輸層(222)的厚度為7μm-10μm。

5.如權利要求1所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述絕緣隔熱層(223)的材料為有機絕緣材料或者無機絕緣材料；所述有機絕緣材料包括聚苯并咪唑與聚酰亞胺中的一種或多種；所述無機絕緣材料包括氮化硅與二氧化硅中的一種或多種；所述絕緣隔熱層(223)的厚度為1μm-2μm。

6.如權利要求1所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述柔性基板(30)的材料為聚酰亞胺；所述顯示器件層(40)包括在所述柔性基板(30)上從下至上依次層疊設置的緩沖層(41)、TFT層(42)、OLED發光層(43)；所述緩沖層(41)的材料包括氮化硅與氧化硅中的一種或多種。

7.如權利要求1所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述步驟4的激光剝離制程中，激光的焦點位于剛性承載板(10)與犧牲層(20)的界面處。

8.如權利要求1所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述步驟5中，采用物理作用的方式使第二犧牲層(22)與剛性承載板(10)分離的操作為：采用切割刀沿平行于剛性承載板(10)的方向對絕緣隔熱層(223)進行切割，使第二犧牲層(22)與剛性承載板(10)完全分離。

9.如權利要求1所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，還包括：步驟6、將犧牲層(20)從柔性基板(30)表面去除，從而實現犧牲層(20)從柔性顯示面板(50)上去除。

10.如權利要求9所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述步驟6采用超聲處理或等離子處理的方法使犧牲層(20)從柔性基板(30)表面去除。