[發(fā)明專利]壓印模具以及壓印模具制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711320745.6 | 申請日： | 2017-12-12 |
| 公開（公告）號： | CN107861335A | 公開（公告）日： | 2018-03-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 黃勝銘;林圣凱;陳志強;張暉谷;鍾佳欣;王濰淇;王銘瑞;呂仁貴;羅再昇;沈煌凱 | 申請（專利權(quán)）人： | 友達光電股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11006 | 代理人： | 梁揮,鮑俊萍 |
| 地址： | 中國臺灣新竹科*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓印 模具 以及 制造 方法 | ||
1.一種壓印模具，其特征在于，具有多個相同或不同的模具圖案，該些模具圖案間不存在高度段差。
2.一種壓印模具，其特征在于，該壓印模具表面包含：
一第一區(qū)域，該第一區(qū)域內(nèi)設(shè)置有一第一模具圖案，該第一模具圖案具有一第一線寬及一第一深度；
一第二區(qū)域，該第二區(qū)域內(nèi)設(shè)置有一第二模具圖案，該第二模具圖案具有一第二線寬及一第二深度；以及
一重迭區(qū)域，位于該第一區(qū)域及該第二區(qū)域之間，該重迭區(qū)域內(nèi)設(shè)置有一第三模具圖案，該第三模具圖案具有一第三線寬及一第三深度；
其中，該第一模具圖案、該第二模具圖案及該第三模具圖案的頂面位于同一水平，該第三線寬≦該第一線寬或該第二線寬，該第三深度≦該第一深度或該第二深度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓印模具，其特征在于，該第三模具圖案包含多個第三圖案單元，該多個第三圖案單元的每一個的根部具有一突出部，該多個第三圖案單元的每一個于該突出部以及該突出部以外部分分別具有一突出線寬及該第三線寬。
4.一種壓印模具，其特征在于，該壓印模具表面包含：
一第一區(qū)域，該第一區(qū)域內(nèi)設(shè)置有一第一模具圖案，該第一模具圖案具有一第一線寬及一第一深度；
一第二區(qū)域，該第二區(qū)域內(nèi)設(shè)置有一第二模具圖案，該第二模具圖案具有一第二線寬及一第二深度；以及
一重迭區(qū)域，位于該第一區(qū)域及該第二區(qū)域之間，該重迭區(qū)域下凹并具有一第三深度；
其中，該第一模具圖案及該第二模具圖案的頂面位于同一水平，該第三深度≦該第一深度或該第二深度。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4任一項所述的壓印模具，其特征在于，該第一深度與該第二深度相等或不相等。
6.根據(jù)權(quán)利要求2至4任一項所述的壓印模具，其特征在于，該第一線寬與該第二線寬相等或不相等。
7.一種壓印模具，其特征在于，該壓印模具表面包含：
一第一區(qū)域，該第一區(qū)域內(nèi)設(shè)置有一第一模具圖案，該第一模具圖案具有一第一線寬及一第一深度；
一第二區(qū)域，該第二區(qū)域內(nèi)設(shè)置有一第二模具圖案，該第二模具圖案具有一第二線寬及一第二深度，該第一區(qū)域及該第二區(qū)域之間具有一間距；
其中，該第一模具圖案及該第二模具圖案的頂面位于同一水平，該間距與該第一線寬及該第二線寬均不相等。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓印模具，其特征在于，該第一深度與該第二深度相等或不相等。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓印模具，其特征在于，該第一線寬與該第二線寬相等或不相等。
10.一種壓印模具制造方法，其特征在于，包含：
步驟S1000：設(shè)置一模具圖案層于一基材上；
步驟S2000：于該模具圖案層上設(shè)置一第一硬掩膜層，其中該第一硬掩膜層具有一個或多個第一鏤空區(qū)域；
步驟S3000：在該模具圖案層形成一第一模具圖案，其中該第一模具圖案的范圍與該第一鏤空區(qū)域于該模具圖案層的垂直投影范圍完全重迭；
步驟S4000：去除該第一硬掩膜層；
步驟S5000：于該模具圖案層上設(shè)置一第二硬掩膜層，其中該第二硬掩膜層具有一個或多個第二鏤空區(qū)域，其中該第二鏤空區(qū)域于該模具圖案層的垂直投影范圍與該第一模具圖案相鄰接；
步驟S6000：在該模具圖案層形成一第二模具圖案，其中該第二模具圖案的范圍與該第二鏤空區(qū)域于該模具圖案層的垂直投影范圍完全重迭；
步驟S7000：去除該第二硬掩膜層。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的壓印模具制造方法，其特征在于，該步驟S3000包含：
于該第一硬掩膜層與該第一鏤空區(qū)域上設(shè)置一第一壓印光刻膠層；
對該第一壓印光刻膠層的一第一壓印區(qū)域進行壓印以形成一第一壓印圖案，其中該第一壓印區(qū)域于該第一硬掩膜層的垂直投影范圍完全涵蓋該第一鏤空區(qū)域的范圍；
對該第一壓印光刻膠層以及該模具圖案層進行蝕刻以在該模具圖案層形成該第一模具圖案。
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