[發(fā)明專利]集成電路、以及用于設(shè)計集成電路的計算系統(tǒng)和方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711320090.2
• 申請日: 2017-12-12
• 公開（公告）號: CN108205602B
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 元孝植;張銘洙;樸炫洙;曹多演
• 申請（專利權(quán)）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: G06F30/39
• 分類號: G06F30/39;G06F113/18
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 邵亞麗

1.一種計算機實施的方法，所述方法包括：

基于定義集成電路的設(shè)計數(shù)據(jù)來放置標(biāo)準(zhǔn)單元；

通過執(zhí)行無色布線來生成集成電路的布局，其中被包括在三重圖案化光刻TPL層中的第一圖案、第二圖案和第三圖案基于對應(yīng)于多個預(yù)定的定義的空間約束被布置在所放置的標(biāo)準(zhǔn)單元上，其中，每個預(yù)定的定義取決于相鄰圖案的特定位置關(guān)系、將分別被分配到相鄰圖案的顏色的標(biāo)識和相鄰圖案之間的最小空間，其中位置關(guān)系包括相鄰圖案在相同軌跡上布置、相鄰圖案并行布置或相鄰圖案垂直布置之一；

將所生成的布局存儲到計算機可讀存儲介質(zhì)；

基于布局生成第一掩模、第二掩模和第三掩模；以及

通過使用所生成的第一掩模、第二掩模和第三掩模制造半導(dǎo)體器件，

其中，所述空間約束定義第一圖案、第二圖案和第三圖案之間的最小空間，并且顏色違規(guī)基于所述空間約束來被確定。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括：將第一顏色、第二顏色和第三顏色分別分配給第一圖案、第二圖案和第三圖案，其中，第一顏色、第二顏色和第三顏色分別與所述第一掩模、第二掩模和第三掩模相對應(yīng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，生成所述布局包括：接收包括所述空間約束的技術(shù)文件，并且基于所接收的技術(shù)文件來執(zhí)行所述無色布線。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括針對TPL層圖案執(zhí)行顏色分解。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，所述執(zhí)行顏色分解包括：當(dāng)?shù)谝粓D案、第二圖案和第三圖案之間的空間小于具有相同的顏色的圖案之間的最小空間時，將不同的顏色分配給第一圖案、第二圖案和第三圖案。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，所述執(zhí)行顏色分解包括：當(dāng)?shù)谝粓D案、第二圖案和第三圖案之間的空間等于或大于具有不同的顏色的圖案之間的最小空間時，將相同的顏色分配給第一圖案、第二圖案和第三圖案。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中第一圖案和第二圖案在第一方向上延伸并在垂直于第一方向的第二方向上彼此相鄰，以及

所述空間約束包括將第一圖案與第二圖案之間的最小空間定義為被分配不同的顏色的圖案之間的第一空間的第一空間約束。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，第一空間是被分配不同的顏色的圖案之間的最小邊到邊空間。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，第三圖案在第一方向上延伸并在第一方向上與第一圖案或第二圖案相鄰，以及

所述空間約束進(jìn)一步包括將第三圖案與第一圖案或第二圖案之間的最小空間定義為被分配相同的顏色的圖案之間的第二空間的第二空間約束。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中，第二空間是在被分配相同的顏色的圖案之間的最小端到端空間。

11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，所述三重圖案化光刻層是雙向?qū)樱?/p>

第三圖案在第二方向上延伸并在第一方向上與第一圖案或第二圖案相鄰，以及

所述空間約束包括第三空間約束，所述第三空間約束將第三圖案與第一圖案或第二圖案之間的最小端到邊空間定義為被分配相同的顏色的圖案之間的最小端到邊空間。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，所述空間約束進(jìn)一步包括第四空間約束，第四空間約束將第三圖案與第一圖案或第二圖案之間的最小角到角空間定義為被分配相同的顏色的圖案之間的最小角到角空間。

13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，所述三重圖案化光刻層為單向?qū)樱?/p>

第三圖案在第一方向上延伸并在第一方向上與第一圖案或第二圖案相鄰，以及

所述空間約束進(jìn)一步包括第三空間約束，所述第三空間約束將第一圖案、第二圖案和第三圖案之間的最小角到角空間定義為被分配不同的顏色的圖案之間的最小角到角空間。