[發明專利]一種180°固晶機的邦頭結構在審
| 申請號: | 201711313999.5 | 申請日: | 2017-12-12 |
| 公開(公告)號: | CN107808841A | 公開(公告)日: | 2018-03-16 |
| 發明(設計)人: | 徐大林;宋寶 | 申請(專利權)人: | 深圳市佳思特光電設備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L33/48 |
| 代理公司: | 廣州粵高專利商標代理有限公司44102 | 代理人: | 羅曉林,楊桂洋 |
| 地址: | 518116 廣東省深圳市龍崗區*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 180 固晶機 結構 | ||
1.一種180°固晶機的邦頭結構,包括驅動裝置和擺臂機構,其特征在于,所述驅動裝置包括Z軸電機和旋轉電機,Z軸電機裝在Z軸安裝座上,Z軸的電機軸通過軸承裝接有偏心軸,偏心軸上裝接有連桿,連桿裝接有Z軸連接塊,旋轉電機的電機軸裝接有旋轉軸,旋轉軸上設有擺臂導軌,該擺臂導軌上卡裝有擺臂連接塊,擺臂連接塊通過固定軸與Z軸連接塊轉動連接并通過螺母鎖緊,擺臂機構與擺臂連接塊固定連接,旋轉電機帶動擺臂機構180度范圍擺動。
2.根據權利要求1所述的180°固晶機的邦頭結構,其特征在于,所述Z軸安裝座上裝設有直線導軌,Z軸連接塊與該直線導軌活動卡裝。
3.根據權利要求2所述的180°固晶機的邦頭結構,其特征在于,所述擺臂結構包括擺臂座和擺臂,擺臂安裝在擺臂座上,擺臂座與擺臂連接塊固定連接,擺臂末端裝設有真空吸嘴。
4.根據權利要求3所述的180°固晶機的邦頭結構,其特征在于,所述擺臂通過螺絲鎖緊在擺臂座上。
5.根據權利要求4所述的180°固晶機的邦頭結構,其特征在于,所述螺絲上設有壓力調節裝置。
6.根據權利要求5所述的180°固晶機的邦頭結構,其特征在于,所述壓力調節裝置包括套裝在螺絲上的彈簧和鎖緊在該螺絲上的螺母,彈簧一端抵頂著彈簧、另一端抵頂著擺臂。
7.根據權利要求6所述的180°固晶機的邦頭結構,其特征在于,所述在擺臂連接塊和擺臂之間安裝有彈性連接塊。
8.根據權利要求7所述的180°固晶機的邦頭結構,其特征在于,所述擺臂上還設有用于檢測芯片的傳感器。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





