[發(fā)明專利]鍍膜膜層厚度任意變化的行星鍍膜夾具遮擋板及制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711302671.3
• 申請(qǐng)日: 2017-12-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108193167B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-10-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李鵬;劉洪朋;李號(hào)召;孫紅曉;王一堅(jiān)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司洛陽(yáng)電光設(shè)備研究所
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;G02B1/10
• 代理公司: 西北工業(yè)大學(xué)專利中心 61204
• 代理人: 王鮮凱

本發(fā)明涉及一種鍍膜膜層厚度任意變化的行星鍍膜夾具遮擋板及制作方法，遮擋板包括圓盤形遮擋板和遮擋板上的開(kāi)口；所述的開(kāi)口形狀的一個(gè)邊為圓形沿的一段圓弧，另一個(gè)邊為由圓心起始的半徑，第三條邊為由圓心向圓弧的漸變曲線；所述圓盤形遮擋板的直徑與需要鍍膜的光學(xué)零件的直徑相吻合；所述由圓心向圓弧的漸變曲線與需要鍍膜的光學(xué)零件的鍍膜厚度相吻合。本發(fā)明應(yīng)用行星夾具鍍膜設(shè)備任意厚度變化膜層的制備，具有膜厚精度高、修正容易的優(yōu)點(diǎn)，具有較高的推廣應(yīng)用價(jià)值。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于光學(xué)薄膜制造技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種鍍膜膜層厚度任意變化的行星鍍膜夾具遮擋板及制作方法。

背景技術(shù)

為提高產(chǎn)品的顯示亮度，全息波導(dǎo)閃耀光柵表面不同位置要求制備不同厚度的膜層，針對(duì)產(chǎn)品實(shí)際要求，通過(guò)設(shè)計(jì)遮擋板及其正確的安裝方法，實(shí)現(xiàn)了零件表面變厚度膜層的制備。

發(fā)明內(nèi)容

要解決的技術(shù)問(wèn)題

為了避免現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，本發(fā)明提出一種鍍膜膜層厚度任意變化的行星鍍膜夾具遮擋板及制作方法，實(shí)現(xiàn)光學(xué)零件表面不同位置膜層厚度的不同，為全息波導(dǎo)閃耀光柵提供變厚度膜層制備。

技術(shù)方案

一種鍍膜膜層厚度任意變化的行星鍍膜夾具遮擋板，其特征在于：包括圓盤形遮擋板和遮擋板上的開(kāi)口；所述的開(kāi)口形狀的一個(gè)邊為圓形沿的一段圓弧，另一個(gè)邊為由圓心起始的半徑，第三條邊為由圓心向圓弧的漸變曲線；所述圓盤形遮擋板的直徑與需要鍍膜的光學(xué)零件的直徑相吻合；所述由圓心向圓弧的漸變曲線與需要鍍膜的光學(xué)零件的鍍膜厚度相吻合。

所述由圓心向圓弧的漸變曲線與需要鍍膜的光學(xué)零件的鍍膜厚度相吻合是：以曲線起始位置為零度角，膜層最厚所對(duì)應(yīng)的角度為θⅠ，為最大半徑之處；膜層最薄所對(duì)應(yīng)的角度為θⅡ，半徑為X。

一種制作所述鍍膜膜層厚度任意變化的行星鍍膜夾具遮擋板的方法，其特征在于步驟如下：

步驟1：采用橢圓偏振儀對(duì)被需要鍍膜的光學(xué)零件的膜層厚度進(jìn)行測(cè)試，得到沿半徑各點(diǎn)的膜層厚度；

步驟2：以膜層最薄所對(duì)應(yīng)的角度為θⅡ，半徑為X的位置為曲線的起始點(diǎn)，以沿起始點(diǎn)轉(zhuǎn)角θⅠ，膜層厚度的最厚之處為半徑最大處為曲線的終止點(diǎn)，分段按照測(cè)量的厚度確定曲線的邊緣；

步驟3：按照曲線的邊緣切割出由圓心向圓弧的漸變曲線，由半徑為X起始的半徑，由該半徑至漸變曲線的圓盤形邊的圓弧。

有益效果

本發(fā)明提出的一種鍍膜膜層厚度任意變化的行星鍍膜夾具遮擋板及制作方法，遮擋板包括圓盤形遮擋板和遮擋板上的開(kāi)口；所述的開(kāi)口形狀的一個(gè)邊為圓形沿的一段圓弧，另一個(gè)邊為由圓心起始的半徑，第三條邊為由圓心向圓弧的漸變曲線；所述圓盤形遮擋板的直徑與需要鍍膜的光學(xué)零件的直徑相吻合；所述由圓心向圓弧的漸變曲線與需要鍍膜的光學(xué)零件的鍍膜厚度相吻合。使用時(shí)：該遮擋板通過(guò)支條及托板固定在鍍膜設(shè)備行星夾具盤下面，隨鍍膜夾具架一起公轉(zhuǎn)，行星夾具盤上的被鍍膜零件，隨鍍膜夾具公轉(zhuǎn)的同時(shí)自轉(zhuǎn)，根據(jù)遮擋板軌跡形狀及鍍膜零件的相對(duì)位置的不同，實(shí)現(xiàn)零件不同位置的膜層厚度的變化。本發(fā)明應(yīng)用行星夾具鍍膜設(shè)備任意厚度變化膜層的制備，具有膜厚精度高、修正容易的優(yōu)點(diǎn)，具有較高的推廣應(yīng)用價(jià)值。

附圖說(shuō)明

圖1：實(shí)施例1的膜層徑向不同位置的厚度要求圖

圖2：按照實(shí)施例1的膜層徑向不同位置的厚度要求設(shè)計(jì)的遮擋板

圖3：采用橢圓偏振儀對(duì)實(shí)施例1樣品進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試點(diǎn)分布圖

圖4：實(shí)施例1膜厚與位置點(diǎn)關(guān)系圖

圖5：實(shí)施例2的膜層徑向不同位置的厚度要求圖

圖6：按照實(shí)施例2的膜層徑向不同位置的厚度要求設(shè)計(jì)的遮擋板