[發明專利]鍍膜膜層厚度任意變化的行星鍍膜夾具遮擋板及制作方法

有效

• 申請號: 201711302671.3
• 申請日: 2017-12-11
• 公開（公告）號: CN108193167B
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 李鵬;劉洪朋;李號召;孫紅曉;王一堅
• 申請（專利權）人: 中國航空工業集團公司洛陽電光設備研究所
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;G02B1/10
• 代理公司: 西北工業大學專利中心 61204
• 代理人: 王鮮凱

1.一種鍍膜膜層厚度任意變化的行星鍍膜夾具遮擋板，其特征在于：包括圓盤形遮擋板和遮擋板上的開口；所述的開口形狀的一個邊為圓形沿的一段圓弧，另一個邊為由圓心起始的半徑，第三條邊為由圓心向圓弧的漸變曲線；所述圓盤形遮擋板的直徑與需要鍍膜的光學零件的直徑相吻合；所述由圓心向圓弧的漸變曲線與需要鍍膜的光學零件的鍍膜厚度相吻合；

所述由圓心向圓弧的漸變曲線與需要鍍膜的光學零件的鍍膜厚度相吻合是：以曲線起始位置為零度角，膜層最厚所對應的角度為θⅠ，為最大半徑之處；膜層最薄所對應的角度為θⅡ，半徑為X。

2.一種制作權利要求1所述鍍膜膜層厚度任意變化的行星鍍膜夾具遮擋板的方法，其特征在于步驟如下：

步驟1：采用橢圓偏振儀對被需要鍍膜的光學零件的膜層厚度進行測試，得到沿半徑各點的膜層厚度；

步驟2：以膜層最薄所對應的角度為θⅡ，半徑為X的位置為曲線的起始點，以沿起始點轉角θⅠ，膜層厚度的最厚之處為半徑最大處為曲線的終止點，分段按照測量的厚度確定曲線的邊緣；

步驟3：按照曲線的邊緣切割出由圓心向圓弧的漸變曲線，由半徑為X起始的半徑，由該半徑至漸變曲線的圓盤形邊的圓弧。