[發明專利]一種太陽能金剛線電池背腐蝕工藝在審
| 申請號： | 201711274343.7 | 申請日： | 2017-12-06 |
| 公開（公告）號： | CN108133978A | 公開（公告）日： | 2018-06-08 |
| 發明（設計）人： | 黃鎮 | 申請（專利權）人： | 中建材浚鑫科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102 | 代理人： | 姚姣陽 |
| 地址： | 214443 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 腐蝕溶液 制絨添加劑 硅片 電池 腐蝕 金剛線 刻蝕槽 太陽能 配置 四邊 鏈式滾輪 絨面結構 選擇刻蝕 轉換效率 反射率 過刻蝕 槽體 朝上 滑行 液位 配制 漂浮 擴散 優化 | ||
1.一種太陽能金剛線電池背腐蝕工藝，其特征在于：該工藝包括以下步驟：
S1：初步配置背腐蝕溶液；
選擇刻蝕槽，在刻蝕槽中初步配置背腐蝕溶液，背腐蝕溶液包括硝酸、氫氟酸、硫酸和水的混合液，所述硝酸、氫氟酸、硫酸和水的溶液體積比為265L：24L：70L：80L；
S2：添加制絨添加劑；
向S1步驟中配制的背腐蝕溶液中加入制絨添加劑，該制絨添加劑的體積比為1～1.5L；
S3：放置硅片 ；
向S2步驟中配置好的背腐蝕溶液中放入硅片；
S4：采用鏈式滾輪槽體，讓擴散后硅片帶有PN結的那一面朝上，只對非PN結面及四邊腐蝕，在液位上漂浮滑行過刻蝕槽；
S5：背腐蝕溶液溫度為5～15度，去除厚度為1～1.6um，經過刻蝕槽的時間為1.5～2m/min；
S6：刻蝕后的硅片依次通過水洗、堿洗、酸洗、水洗后最后吹干。
2.根據權利要求1所述的一種太陽能金剛線電池背腐蝕工藝，其特征在于：
所述添加劑的主要成分包括緩蝕劑、挖孔劑、黑絲抑制劑、復式絨面積構劑、表面清洗劑。
3.根據權利要求1所述的一種太陽能金剛線電池背腐蝕工藝，其特征在于：
所述緩蝕劑的溶液配比為10%，挖孔劑的溶液配比為20%，黑絲抑制劑的溶液配比為15%，復式絨面積構劑的溶液配比為50%，表面清洗劑的溶液配比為5%。
4.根據權利要求1所述的一種太陽能金剛線電池背腐蝕工藝，其特征在于：
向S2步驟中添加制絨添加劑補液，所述制絨添加劑為10ml/300片。
5.根據權利要求1所述的一種太陽能金剛線電池背腐蝕工藝，其特征在于：
向S1步驟中添加硝酸溶液補液，所述硝酸溶液為0.5ml/240片。
6.根據權利要求1所述的一種太陽能金剛線電池背腐蝕工藝，其特征在于：
向S1步驟中添加氫氟酸溶液補液，所述氫氟酸溶液為0.3ml/240片。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
