[發(fā)明專利]一種傳動機構(gòu)的固定組件

在審

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• 申請日: 2017-12-05
• 公開（公告）號: CN107845597A
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張虎威;管長樂
• 申請（專利權(quán)）人: 北京創(chuàng)昱科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司11252
• 代理人: 周放,姜溯洲

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及薄膜太陽能技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種應(yīng)用于真空鍍膜設(shè)備中的傳動機構(gòu)的固定組件。

背景技術(shù)

在薄膜太陽能電池組件中，薄膜層起到光電轉(zhuǎn)換的作用，其性能在很大程度上決定了電池片的光電轉(zhuǎn)換效率，即電池片的關(guān)鍵性能參數(shù)。在薄膜層的加工設(shè)備中，需具有傳動機構(gòu)實現(xiàn)載板在各模塊之間的傳遞，以完成薄膜層的加工，而傳動機構(gòu)得到了可靠地固定才能保證薄膜層的加工能夠順利地完成。

如現(xiàn)有的薄膜層一般采用金屬有機物化學(xué)氣相沉積(英文名稱為Metal Organic Chemical Vapor Deposition，簡稱MOCVD)的加工方式進行材料生長，而MOCVD生產(chǎn)設(shè)備非常昂貴，在整條薄膜太陽能電池片生產(chǎn)線中，MOCVD設(shè)備成本占據(jù)非常高的比例，其產(chǎn)能的提高能夠極大的降低電池片的制造成本。

MOCVD是在氣相外延生長(英文簡稱為VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種化學(xué)氣相沉積工藝，用于生長外延晶片。它是以III族、II族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長的反應(yīng)氣體，以熱分解反應(yīng)方式在藍寶石襯底或其他襯底上進行外延沉積工藝，生長各種III-V族、II-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的外延材料層。通常MOCVD的生長條件是在低壓(1000pa-10000pa)下進行，生長使用的載氣(通常為氮氣或氫氣)與原料氣體按一定比例混合通入反應(yīng)腔內(nèi)，襯底溫度一般在700K-1500K之間。

傳動機構(gòu)是MOCVD設(shè)備中的關(guān)鍵組成部分，傳動機構(gòu)位于MOCVD設(shè)備中的裝載腔(英文簡稱為LOAD-LOCK)與工藝模塊(英文簡稱為PM)中，其主要功能是對載板進行精確、穩(wěn)定、快速的在自動傳輸模塊(英文簡稱為ATM)、LOAD-LOCK、PM中進行雙向傳遞。

載板的大致運動過程為：在ATM裝載晶片后，載板進入LOAD-LOCK中，載板在完成預(yù)熱后，在LOAD-LOCK內(nèi)部的傳動機構(gòu)作用下水平傳動至PM內(nèi)，在工藝腔室中完成工藝后，載板在PM傳動機構(gòu)作用下傳遞至LOAD-LOCK內(nèi)，在LOAD-LOCK完成冷卻工藝后，再通過傳動機構(gòu)傳輸至ATM內(nèi)，進而完成整個傳遞過程。傳動機構(gòu)設(shè)計的好壞直接決定了載板在各個工藝流程位置的準(zhǔn)確性和水平傳動運行的穩(wěn)定性，直接影響晶片最后的工藝效果。因此，良好的傳動機構(gòu)是MOCVD整機性能良好的重要組成部分。

現(xiàn)有的傳動機構(gòu)通常包括幾個軸端安裝有滾輪的磁流體和固定組件等組成，載板在各滾輪的作用下實現(xiàn)上述反復(fù)傳遞運輸。目前MOCVD設(shè)備的傳動機構(gòu)設(shè)計中最為重要的一點是要保證傳輸平面的平面度，所說的傳輸平面是指由各磁流體上的滾輪上邊沿組成的對載板進行承載傳遞的支撐平面。由于磁流體是安裝在固定組件上，滾輪設(shè)置在磁流體上遠離固定組件的一端，這樣通過固定組件實現(xiàn)對磁流體的固定，以使得滾輪保持在一定位置，從而保證傳輸平面的平面度，因此，如何設(shè)計固定組件，以實現(xiàn)磁流體的安裝成為本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種傳動機構(gòu)的固定組件，以實現(xiàn)磁流體的安裝，較好地保證傳輸平面的平面度。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了如下技術(shù)方案：

一種傳動機構(gòu)的固定組件，包括磁流體和固定件，所述固定件具有安裝板，所述安裝板上設(shè)置有多個支撐面，所述支撐面與所述磁流體的第一段的外表面相配合，所述第一段通過緊固件被固定在所述安裝板上。

優(yōu)選地，所述固定件為長方體框架，由第一側(cè)板、第二側(cè)板和封板圍成，所述第一側(cè)板上設(shè)置有多個第一開口；所述第一側(cè)板為所述安裝板，所述第一開口的開口壁面為所述支撐面。

優(yōu)選地，所述第二側(cè)板上設(shè)置有多個第二開口，各所述第二開口與各所述第一開口一一對應(yīng)，且所述第一開口用于與所述第一段的第一端的外表面相配合，所述第一端通過所述緊固件被固定在所述第一側(cè)板上，所述第二開口用于與所述第一段的第二端的外表面相配合，所述第二端通過所述緊固件被固定在所述第二側(cè)板上。

優(yōu)選地，所述固定件還包括底板，所述底板與所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板連接，并使所述固定件構(gòu)成槽型結(jié)構(gòu)，所述底板位于遠離所述第一開口的一側(cè)。

優(yōu)選地，所述固定件還包括加強隔板，所述加強隔板設(shè)置在所述底板的內(nèi)側(cè)，且所述加強隔板的一側(cè)與所述第一側(cè)板相連，所述加強隔板的另一側(cè)與所述第二側(cè)板相連。

優(yōu)選地，所述緊固件包括緊固螺釘和分別用于與所述第一端和第二端的外表面相配合的弧形卡箍，所述第一開口的兩側(cè)和所述第二開口的兩側(cè)均設(shè)置有用于與所述緊固螺釘相配合的螺紋孔。