[發明專利]一種傳動機構的固定組件在審
| 申請號: | 201711269854.X | 申請日: | 2017-12-05 |
| 公開(公告)號: | CN107845597A | 公開(公告)日: | 2018-03-27 |
| 發明(設計)人: | 張虎威;管長樂 | 申請(專利權)人: | 北京創昱科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京維澳專利代理有限公司11252 | 代理人: | 周放,姜溯洲 |
| 地址: | 102299 北京市昌平*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 傳動 機構 固定 組件 | ||
1.一種傳動機構的固定組件,包括磁流體和固定件,其特征在于,所述固定件具有安裝板,所述安裝板上設置有多個支撐面,所述支撐面與所述磁流體的第一段的外表面相配合,所述第一段通過緊固件被固定在所述安裝板上。
2.根據權利要求1所述的傳動機構的固定組件,其特征在于,所述固定件為長方體框架,由第一側板、第二側板和封板圍成,所述第一側板上設置有多個第一開口;所述第一側板為所述安裝板,所述第一開口的開口壁面為所述支撐面。
3.根據權利要求2所述的傳動機構的固定組件,其特征在于,所述第二側板上設置有多個第二開口,各所述第二開口與各所述第一開口一一對應,且所述第一開口用于與所述第一段的第一端的外表面相配合,所述第一端通過所述緊固件被固定在所述第一側板上,所述第二開口用于與所述第一段的第二端的外表面相配合,所述第二端通過所述緊固件被固定在所述第二側板上。
4.根據權利要求2所述的傳動機構的固定組件,其特征在于,所述固定件還包括底板,所述底板與所述第一側板和所述第二側板連接,并使所述固定件構成槽型結構,所述底板位于遠離所述第一開口的一側。
5.根據權利要求4所述的傳動機構的固定組件,其特征在于,所述固定件還包括加強隔板,所述加強隔板設置在所述底板的內側,且所述加強隔板的一側與所述第一側板相連,所述加強隔板的另一側與所述第二側板相連。
6.根據權利要求3所述的傳動機構的固定組件,其特征在于,所述緊固件包括緊固螺釘和分別用于與所述第一端和第二端的外表面相配合的弧形卡箍,所述第一開口的兩側和所述第二開口的兩側均設置有用于與所述緊固螺釘相配合的螺紋孔。
7.根據權利要求3所述的傳動機構的固定組件,其特征在于,所述第一開口和所述第二開口均為弧形開口。
8.根據權利要求1所述的傳動機構的固定組件,其特征在于,所述固定件為L型固定板,所述L型固定板由底板和豎板圍成,所述豎板上設置多個供所述磁流體穿過的安裝孔;所述豎板為所述安裝板,所述安裝孔的孔壁面為所述支撐面。
9.根據權利要求8所述的傳動機構的固定組件,其特征在于,所述緊固件為安裝螺釘,所述安裝孔的周邊設置有與所述安裝螺釘相配合的螺釘孔。
10.根據權利要求4或8所述的傳動機構的固定組件,其特征在于,所述的傳動機構的固定組件還包括驅動裝置和移動組件,所述固定件與所述移動組件連接,所述驅動裝置驅動所述固定件和所述磁流體沿所述磁流體的軸向移動。
11.根據權利要求10所述的傳動機構的固定組件,其特征在于,所述移動組件包括導軌、滑塊和導軌安裝架,所述導軌沿所述磁流體的軸向布置,且設置于所述導軌安裝架上;所述底板的外側通過所述滑塊與所述導軌連接,所述導軌安裝架用于與腔室壁相連。
12.根據權利要求11所述的傳動機構的固定組件,其特征在于,所述底板上未與所述導軌相連接的區域設置為中空結構。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





