[發明專利]高精度幅寬在線測量裝置

在審

• 申請號: 201711266253.3
• 申請日: 2017-12-05
• 公開（公告）號: CN107860320A
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 武宏昌;張偉;尹建兵;彭朝東;陳志忠;林飛
• 申請（專利權）人: 深圳精創視覺科技有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高精度幅寬在線測量裝置，其特征在于，包括：

機架，用于承載設置在其上的模組；

測量模組，設置在所述機架上，用于對待檢樣品進行幅寬測量；

運動模組，設置在所述機架上，所述測量模組在所述運動模組的帶動下進行左右位移；

外圍驅動模組，分別與所述測量模組、運動模組電性連接。

2.根據權利要求1所述的高精度幅寬在線測量裝置，其特征在于，所述測量模組是在所述機架上設有第一取像元件和第二取像元件，所述第一取像元件和第二取像元件對待測樣品進行圖像采集。

3.根據權利要求2所述的高精度幅寬在線測量裝置，其特征在于，還包括圖像處理元件，所述第一取像元件和第二取像元件分別連接所述圖像處理元件，所述第一取像元件和第二取像元件分別將采集的圖像傳送給所述圖像處理元件。

4.根據權利要求3所述的高精度幅寬在線測量裝置，其特征在于，所述運動模組是在所述機架上橫設有固定載板，所述固定載板上設有第一運動模組和第二運動模組，所述第一取像元件、第二取像元件分別設置在所述第一運動模組、第二運動模組上，所述第一取像元件、第二取像元件分別在所述第一運動模組、第二運動模組的帶動下進行左右位移。

5.根據權利要求4所述的高精度幅寬在線測量裝置，其特征在于，所述第一運動模組是在所述機架上設有第一左右位移滑軌和第一左右位移驅動電機，所述第一左右位移滑軌上設有可沿其自由滑動的第一左右位移滑座，所述第一左右位移驅動電機與所述第一左右位移滑座相連，所述第一取像元件設置在所述第一左右位移滑座上；所述第二運動模組是在所述機架上設有第二左右位移滑軌和第二左右位移驅動電機，所述第二左右位移滑軌上設有可沿其自由滑動的第二左右位移滑座，所述第二左右位移驅動電機與所述第二左右位移滑座相連，所述第二取像元件設置在所述第二左右位移滑座上。

6.根據權利要求5所述的高精度幅寬在線測量裝置，其特征在于，所述固定載板與所述第一左右位移滑軌末端相對應處設有第一極限位置傳感器，所述固定載板與所述第二左右位移滑軌末端相對應處設有第二極限位置傳感器，所述第一極限位置傳感器和第二極限位置傳感器均與所述外圍驅動模組相連。

7.根據權利要求5或6所述的高精度幅寬在線測量裝置，其特征在于，所述第一取像元件是在所述第一左右位移滑座上設有第一工業面陣相機，所述第一工業面陣相機前端設有第一成像鏡頭；所述第二取像元件是在所述第二左右位移滑座上設有第二工業面陣相機，所述第二工業面陣相機前端設有第二成像鏡頭。

8.根據權利要求7所述的高精度幅寬在線測量裝置，其特征在于，所述第一成像鏡頭和第二成像鏡頭前端分別設有第一光源和第二光源。