[發(fā)明專利]金屬板、金屬板的制造方法、和使用金屬板制造蒸鍍掩模的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711266179.5
• 申請(qǐng)日: 2014-01-10
• 公開（公告）號(hào): CN107937870A
• 公開（公告）日: 2018-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 池永知加雄
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大日本印刷株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/56;C23C14/58;H01L51/56
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11127
• 代理人: 丁香蘭,龐東成

本申請(qǐng)是分案申請(qǐng)，其原申請(qǐng)的中國(guó)國(guó)家申請(qǐng)?zhí)枮?01480003445.3，申請(qǐng)日為2014年1月10日，發(fā)明名稱為“金屬板、金屬板的制造方法、和使用金屬板制造蒸鍍掩模的方法”。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及通過(guò)形成2個(gè)以上貫通孔而用于制造蒸鍍掩模的金屬板。本發(fā)明還涉及金屬板的制造方法。此外，本發(fā)明還涉及使用金屬板制造用于以所期望的圖案進(jìn)行蒸鍍的蒸鍍掩模的方法。

背景技術(shù)

近年來(lái)，對(duì)于智能手機(jī)和平板電腦等可攜帶器件中使用的顯示裝置，要求高精細(xì)、例如像素密度為300ppi以上。另外，可攜帶器件中，在對(duì)應(yīng)全高清上的需要正在提高，這種情況下，顯示裝置的像素密度要求為例如450ppi以上。

由于響應(yīng)性好、耗電低，有機(jī)EL顯示裝置受到矚目。作為有機(jī)EL顯示裝置的像素形成方法，已知的方法是，使用包含以所期望的圖案排列的貫通孔的蒸鍍掩模，以所期望的圖案形成像素。具體地說(shuō)，首先，使蒸鍍掩模密合于有機(jī)EL顯示裝置用的基板，接著，將密合的蒸鍍掩模和基板一同投入蒸鍍裝置，進(jìn)行有機(jī)材料等的蒸鍍。蒸鍍掩模一般如下制造得到：通過(guò)利用了照相平版印刷技術(shù)的蝕刻而在金屬板形成貫通孔，從而制造上述蒸鍍掩膜(例如專利文獻(xiàn)1)。例如，首先，在金屬板上形成抗蝕劑膜，接著在使曝光掩模密合于抗蝕劑膜的狀態(tài)下將抗蝕劑膜曝光以形成抗蝕劑圖案，其后，將抗蝕劑圖案作為掩模對(duì)金屬板進(jìn)行蝕刻，從而形成貫通孔。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2004-39319號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

使用蒸鍍掩模在基板上進(jìn)行蒸鍍材料的成膜的情況下，不僅基板，蒸鍍掩模也附著有蒸鍍材料。例如，蒸鍍材料中也存在沿著相對(duì)于蒸鍍掩模的法線方向大幅傾斜的方向而飛向基板的蒸鍍材料，這樣的蒸鍍材料在到達(dá)基板前會(huì)到達(dá)蒸鍍掩模的貫通孔的壁面從而附著。這種情況下，可以認(rèn)為，蒸鍍材料難以附著在基板中的位于蒸鍍掩模的貫通孔的壁面附近的區(qū)域，其結(jié)果，附著的蒸鍍材料的厚度比其他部分小、或者產(chǎn)生未附著蒸鍍材料的部分。即，可以認(rèn)為，蒸鍍掩模的貫通孔的壁面附近的蒸鍍不穩(wěn)定。因此，在為了形成有機(jī)EL顯示裝置的像素而使用蒸鍍掩模的情況下，像素的尺寸精度和位置精度降低，其結(jié)果，導(dǎo)致有機(jī)EL顯示裝置的發(fā)光效率降低。

為了解決這樣的問(wèn)題，考慮將用于制造蒸鍍掩模的金屬板的厚度減薄。這是因?yàn)椋ㄟ^(guò)減小金屬板的厚度，可使蒸鍍掩模的貫通孔的壁面的高度變小，由此，可降低蒸鍍材料中的附著于貫通孔壁面上的蒸鍍材料的比例。但是，為了得到厚度小的金屬板，在軋制母材來(lái)制造金屬板時(shí)需要加大軋制率。在此，軋制率是指利用(母材的厚度-金屬板)/(母材的厚度)算出的值。軋制后實(shí)施了退火等熱處理的情況下，通常軋制率越大，基于軋制的變形的不均勻程度也越大。例如，根據(jù)寬度方向(與母材的傳送方向正交的方向)的位置，金屬板的延伸率不同，其結(jié)果，金屬板出現(xiàn)起伏形狀，這是眾所周知的。具體地說(shuō)，可以舉出：在寬度方向的端部的起伏的形狀，其被稱為波浪邊；在寬度方向的中央部的起伏形狀，其被稱為中間波紋。若出現(xiàn)這樣的起伏形狀，則不能使曝光掩模充分密合于金屬板上的抗蝕劑膜，其結(jié)果，可以認(rèn)為在金屬板上形成的貫通孔的位置精度和尺寸精度會(huì)降低。若貫通孔的位置精度和尺寸精度降低，則通過(guò)使用蒸鍍掩模而得到的有機(jī)EL顯示裝置的像素的尺寸精度和位置精度會(huì)降低。

另外，為了削減蒸鍍掩模的制造成本，首先，眾所周知的是，在金屬板的整個(gè)區(qū)域形成2個(gè)以上的與一個(gè)有機(jī)EL顯示裝置對(duì)應(yīng)的包含2個(gè)以上貫通孔的有效區(qū)域，其后，沿著金屬板的長(zhǎng)度方向?qū)⒔饘侔迩袛酁?個(gè)以上，由此，一次制作出2個(gè)以上的細(xì)長(zhǎng)狀蒸鍍掩模。但是，金屬板的延伸率根據(jù)寬度方向的位置而不同的情況下，切斷后得到的2個(gè)以上細(xì)長(zhǎng)狀蒸鍍掩模的長(zhǎng)度不同。這種情況下，蒸鍍掩模的有效區(qū)域的各貫通孔的間距在各蒸鍍掩模中也不同，其結(jié)果，也可以認(rèn)為，通過(guò)使用蒸鍍掩模而得到的有機(jī)EL顯示裝置的像素的尺寸和位置因個(gè)體的不同而出現(xiàn)偏差。

本發(fā)明的目的是提供可有效解決這樣的問(wèn)題的金屬板、金屬板的制造方法和蒸鍍掩模的制造方法。

第1的本發(fā)明涉及一種金屬板的制造方法，該金屬板通過(guò)形成2個(gè)以上貫通孔而用于制造蒸鍍掩模，其中，上述蒸鍍掩模的上述貫通孔通過(guò)對(duì)上述金屬板進(jìn)行蝕刻而形成，