[發明專利]金屬板、金屬板的制造方法、和使用金屬板制造蒸鍍掩模的方法

在審

• 申請號: 201711266179.5
• 申請日: 2014-01-10
• 公開（公告）號: CN107937870A
• 公開（公告）日: 2018-04-20
• 發明（設計）人: 池永知加雄
• 申請（專利權）人: 大日本印刷株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/56;C23C14/58;H01L51/56
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 丁香蘭,龐東成

1.一種蒸鍍掩模的制造方法，該蒸鍍掩模的2個以上的有效區域沿著與蒸鍍掩模的長度方向平行的一個方向隔著預定的間隔而排成一列，其中，該制造方法包括下述工序：

準備金屬板的工序，該金屬板至少局部具有起伏形狀，該起伏形狀由于該金屬板的長度方向的長度對應其寬度方向的位置而有所不同；

抗蝕劑圖案形成工序，該工序中，在所述金屬板上形成抗蝕劑圖案；和

蝕刻工序，該工序中，將所述抗蝕劑圖案作為掩模對所述金屬板進行蝕刻，在用于形成所述有效區域的所述金屬板的區域內形成用于劃出所述貫通孔的凹部；

將所述金屬板的所述長度的最小值稱為基準長度，將所述金屬板的寬度方向的各位置處的所述金屬板的所述長度與所述基準長度之差相對于所述基準長度的比例稱為延伸差率時，滿足以下條件(1)～(3)，

(1)所述金屬板的寬度方向的中央部分的所述延伸差率為10×10^-5以下；

(2)所述金屬板的寬度方向的端部的所述延伸差率為20×10^-5以下；和

(3)所述端部的所述延伸差率大于所述中央部分的所述延伸差率的最大值；

所述中央部分包括所述金屬板的寬度方向的中央部，其是占所述金屬板的寬度的40％的部分。

2.如權利要求1所述的蒸鍍掩模的制造方法，其中，

所述抗蝕劑圖案形成工序具有：

在所述金屬板上形成抗蝕劑膜的工序、

使曝光掩模與所述抗蝕劑膜真空密合的工序、和

隔著所述曝光掩模將所述抗蝕劑膜以預定的圖案曝光的工序。

3.如權利要求1或2所述的蒸鍍掩模的制造方法，其中，所述金屬板的熱膨脹系數與基板的熱膨脹系數為同等的值，該基板上隔著由所述金屬板制造的蒸鍍掩模而成膜有蒸鍍材料。

4.如權利要求1所述的蒸鍍掩模的制造方法，其中，所述金屬板含有因瓦合金材料。