[發明專利]一種聲表面波濾波器及其實現方法

有效

• 申請號: 201711261735.X
• 申請日: 2017-12-04
• 公開（公告）號: CN108199697B
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發明（設計）人: 范佰杰;段斌;邊旭明;王永安;史向龍
• 申請（專利權）人: 北京航天微電科技有限公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立

本發明實施例涉及一種聲表面波濾波器及其實現方法，屬于濾波器技術領域。其中，該聲表面濾波器包括：壓電基片、制作在壓電基片表面的叉指換能器，其中，壓電基片為從30°Y至35°Y的石英壓電基片中選取的任意一個石英壓電基片；叉指換能器為符合金屬線條參數關系的叉指換能器。通過本實施例提供的技術方案，一方面，避免了頻率漂移量大的技術弊端；另一方面，實現了提高聲表面濾波器的性能指標的技術效果。

技術領域

本發明實施例涉及濾波器技術領域，尤其涉及一種聲表面波濾波器及其實現方法。

背景技術

聲表面波濾波器(SAWF，surface acoustic wave filter)是利用石英、鈮酸鋰、鈦酸鋇晶體具有壓電效應的性質做成的。所謂壓電效應，即是當晶體受到機械作用時，將產生與壓力成正比的電場的現象。具有壓電效應的晶體，在受到電信號的作用時，也會產生彈性形變而發出機械波(聲波)，即可把電信號轉為聲信號。由于這種聲波只在晶體表面傳播，故稱為聲表面波。其性能參數由壓電基片材料、叉指換能器的設計參數、工藝制作精度共同決定。

目前，使用石英壓電材料制作的濾波器在全溫度范圍內的頻率漂移量為500ppm。當濾波器的相對帶寬達到1‰(1000ppm)或更窄時，500ppm的頻率漂移量已嚴重影響濾波器的使用。

發明內容

為解決上述技術問題，本發明實施例提供了一種聲表面波濾波器及其實現方法。

根據本發明實施例的一個方面，本發明實施例提供了，一種聲表面波濾波器，所述聲表面波濾波器包括：壓電基片、制作在所述壓電基片表面的叉指換能器，其中，

所述壓電基片為從30°Y至35°Y的石英壓電基片中選取的任意一個石英壓電基片；

所述叉指換能器為符合金屬線條參數關系的叉指換能器。

通過本實施例提供的：采用30°Y至35°Y的石英壓電基片中選取的任意一個石英壓電基片作為壓電基片，采用復合金屬線條參數關系的叉指換能器作為聲表面濾波器的叉指換能器的技術方案，一方面，避免了頻率漂移量大的技術弊端；另一方面，實現了提高聲表面濾波器的性能指標的技術效果。

進一步地，符合金屬線條參數關系的叉指換能器為符合式1的叉指換能器，式1：

4xy+y＝A

其中，x為所述叉指換能器的金屬線條的寬度與所述金屬線條的間隙寬度之間的比值，y為所述金屬線條的厚度與所述聲表面波濾波器的波長的比值，A的取值范圍為滿足使所述聲表面波濾波器的溫度系數曲線的拐點溫度在10℃至20℃之間的常數區間。

通過本實施例提供的：滿足式1的叉指換能器即為符合金屬線條關系的叉指換能器，以確保聲表面波濾波器的溫度系數曲線的拐點溫度在10℃至20℃之間的技術方案，實現了減小聲表面濾波器在溫度范圍內的頻率漂移，大大提高了聲表面濾波器的溫度穩定性的技術效果，且實現了對聲表面濾波器的性能指標的優化的技術效果。

進一步地，當y的變化區間為2.5％～3.5％時，x的變化區間為1.75～0.82。

通過本實施例提供的：y的變化區間為2.5％～3.5％，x的變化區間為1.75～0.82的技術方案，實現了降低聲表面濾波器的插入損耗的技術效果。

進一步地，一個y對應一個x。

進一步地，A取0.15至0.2之間的任一值。

進一步地，所述壓電基片為33.5°Y石英壓電基片。

進一步地，A的取值為0.175。

進一步地，當y為2.5％時，x為1.5；

當y為3.5％時，x為1.0。