[發(fā)明專利]一種聲表面波濾波器及其實(shí)現(xiàn)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711261735.X
• 申請日: 2017-12-04
• 公開（公告）號: CN108199697B
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 范佰杰;段斌;邊旭明;王永安;史向龍
• 申請（專利權(quán)）人: 北京航天微電科技有限公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02
• 代理公司: 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立

1.一種聲表面波濾波器，其特征在于，所述聲表面波濾波器包括：壓電基片、制作在所述壓電基片表面的叉指換能器，其中，

所述壓電基片為從30°Y至35°Y的石英壓電基片中選取的任意一個石英壓電基片；

所述叉指換能器為符合金屬線條參數(shù)關(guān)系的叉指換能器；

其中，符合金屬線條參數(shù)關(guān)系的叉指換能器為符合式1的叉指換能器，式1：

4xy+y＝A

其中，x為所述叉指換能器的金屬線條的寬度與所述金屬線條的間隙寬度之間的比值，y為所述金屬線條的厚度與所述聲表面波濾波器的波長的比值，A的取值范圍為滿足使所述聲表面波濾波器的溫度系數(shù)曲線的拐點(diǎn)溫度在10℃至20℃之間的常數(shù)區(qū)間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聲表面波濾波器，其特征在于，

當(dāng)y的變化區(qū)間為2.5％～3.5％時，x的變化區(qū)間為1.75～0.82。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種聲表面波濾波器，其特征在于，

一個y對應(yīng)一個x。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聲表面波濾波器，其特征在于，

A取0.15至0.2之間的任一值。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的一種聲表面波濾波器，其特征在于，

所述壓電基片為33.5°Y石英壓電基片。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種聲表面波濾波器，其特征在于，

A的取值為0.175。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種聲表面波濾波器，其特征在于，

當(dāng)y為2.5％時，x為1.5；

當(dāng)y為3.5％時，x為1.0。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-4、6-7中任一項(xiàng)所述的一種聲表面波濾波器，其特征在于，

所述聲表面波濾波器的頻率區(qū)間為10MHz～2GHz。

9.一種聲表面波濾波器的實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于，所述方法包括：

從30°Y至35°Y的石英壓電基片中選取任意一個石英壓電基片作為聲表面波濾波器的壓電基片；

在所述壓電基片的表面制作符合金屬線條參數(shù)關(guān)系的叉指換能器；

其中，所述方法還包括：

根據(jù)式1確定所述叉指換能器，式1：

4xy+y＝A

其中，x為所述叉指換能器的金屬線條的寬度與所述金屬線條的間隙寬度之間的比值，y為所述金屬線條的厚度與所述聲表面波濾波器的波長的比值，A的取值范圍為滿足使所述聲表面波濾波器的溫度系數(shù)曲線的拐點(diǎn)溫度在10℃至20℃之間的常數(shù)區(qū)間。