[發明專利]防撞裝置、工件臺及曝光裝置

有效

• 申請號: 201711244615.9
• 申請日: 2017-11-30
• 公開（公告）號: CN109856916B
• 公開（公告）日: 2021-01-29
• 發明（設計）人: 叢國棟;張志鋼;李志龍;劉屈武
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

本發明提供了一種防撞裝置、工件臺及曝光裝置，所述防撞裝置安裝在工件臺的邊緣，可以節省工件臺內部的大量空間；所述滾輪套接在所述轉軸組件外，所述滾輪能夠相對所述工件臺轉動，當工件臺失控時，由于防撞裝置安裝在工件臺的邊緣，保證了發生碰撞的部件始終是防撞裝置，防撞裝置中的滾輪可以轉動，以吸收碰撞能量，避免損傷工件臺內的精密部件，并且所述防撞裝置占用空間小、重量輕，也可實現對任意方向碰撞的防撞。

技術領域

本發明涉及半導體光刻設備領域，尤其涉及一種防撞裝置、工件臺及曝光裝置。

背景技術

光刻裝置中的曝光臺在運行時存在發生碰撞的可能性，光刻機內的各精密部件(如物鏡、對準裝置、測量部件等)可能被損毀，因此為曝光臺設置防撞裝置至關重要。現有的防撞裝置應用最多的為一維的油壓緩沖器、記憶合金防撞條、由多根記憶合金組成的防撞部件等，其中一維的油壓緩沖器、記憶合金防撞條存在只能防撞一個方向的碰撞，對斜撞等碰撞無能為力，由多根記憶合金組成的防撞部件雖可對任意方向的碰撞實現防撞，但存在占用空間大、自身重量大的不足。

本發明提出一種防撞裝置，占用空間小、重量輕，并可實現對任意方向碰撞的防撞。

發明內容

本發明的目的在于提供一種防撞裝置、工件臺及曝光裝置，以解決現有技術中防撞裝置占用空間大、重量大且防撞能力低等問題。

為了達到上述目的，本發明提供了一種防撞裝置，安裝在工件臺的邊緣，所述防撞裝置包括滾輪和轉軸組件，所述滾輪套接在所述轉軸組件外，所述滾輪能夠相對所述工件臺轉動。

可選的，所述轉軸組件包括轉軸主體和轉軸支撐件，述轉軸支撐件設置于所述轉軸主體兩端，所述滾輪套接在所述轉軸主體外；

所述滾輪能夠繞所述轉軸主體轉動；或者，所述轉軸支撐件能夠在所述工件臺內軸向轉動。

可選的，所述轉軸主體和所述轉軸支撐件中一個呈剛性，另一個呈柔性。

可選的，所述轉軸支撐件與所述轉軸主體之間、所述轉軸支撐件與所述工件臺之間以及所述轉軸主體與所述滾輪之間均可設置阻尼結構。

可選的，所述滾輪包括內輪和套接在所述內輪外的外輪，所述內輪套接在所述轉軸主體外，所述外輪與內輪之間的輪輻采用蜂窩狀結構或柔性彎曲結構。

可選的，所述滾輪采用緩沖吸能材料制成。

可選的，所述緩沖吸能材料包括吸能記憶合金、復合聚酯彈性體或磁流體。

本發明還提供了一種工件臺，所述工件臺的邊緣設置有至少一個所述防撞裝置。

可選的，所述工件臺的邊緣設置有防撞條。

可選的，所述工件臺形狀包括方形或圓形。

可選的，當所述工件臺是方形時，所述工件臺的四角上設置有防撞裝置，所述工件臺的側面設置有防撞條。

本發明還提供了一種曝光裝置，包括所述工件臺。

在本發明提供的一種防撞裝置、工件臺及曝光裝置中，所述防撞裝置安裝在工件臺的邊緣，可以節省工件臺內部的大量空間；所述滾輪套接在所述轉軸組件外，所述滾輪能夠相對所述工件臺轉動，當工件臺失控時，由于防撞裝置安裝在工件臺的邊緣，保證了發生碰撞的部件始終是防撞裝置，防撞裝置中的滾輪可以轉動，以吸收碰撞能量，避免損傷工件臺內的精密部件，并且所述防撞裝置占用空間小、重量輕，也可實現對任意方向碰撞的防撞。

附圖說明

圖1-圖2為實施例提供的防撞裝置的示意圖；

圖3為實施例提供的工件臺失控時發生碰撞的示意圖；

圖4為實施例提供的所述防撞裝置應用在雙工作臺的示意圖；