[發明專利]防撞裝置、工件臺及曝光裝置有效
| 申請號： | 201711244615.9 | 申請日： | 2017-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN109856916B | 公開（公告）日： | 2021-01-29 |
| 發明（設計）人： | 叢國棟;張志鋼;李志龍;劉屈武 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備（集團）股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 裝置 工件 曝光 | ||
1.一種防撞裝置，安裝在工件臺的邊緣，其特征在于，所述防撞裝置包括滾輪和轉軸組件，所述滾輪套接在所述轉軸組件外，所述滾輪能夠相對所述工件臺轉動；
所述轉軸組件包括轉軸主體和轉軸支撐件，所述轉軸支撐件設置于所述轉軸主體兩端，所述滾輪套接在所述轉軸主體外；
所述轉軸主體和所述轉軸支撐件中一個呈剛性，另一個呈柔性，所述滾輪能夠繞所述轉軸主體轉動；或者，所述轉軸支撐件能夠在所述工件臺內軸向轉動。
2.如權利要求1所述的防撞裝置，其特征在于，所述轉軸支撐件與所述轉軸主體之間、所述轉軸支撐件與所述工件臺之間以及所述轉軸主體與所述滾輪之間均設置有阻尼結構。
3.如權利要求1所述的防撞裝置，其特征在于，所述滾輪包括內輪和套接在所述內輪外的外輪，所述內輪套接在所述轉軸主體外，所述外輪與內輪之間的輪輻采用蜂窩狀結構或柔性彎曲結構。
4.如權利要求3所述的防撞裝置，其特征在于，所述滾輪采用緩沖吸能材料制成。
5.如權利要求4所述的防撞裝置，其特征在于，所述緩沖吸能材料包括吸能記憶合金、復合聚酯彈性體或磁流體。
6.一種工件臺，其特征在于，所述工件臺的邊緣設置有至少一個如權利要求1-5中任一項所述的防撞裝置。
7.如權利要求6所述的工件臺，其特征在于，所述工件臺的邊緣設置有防撞條。
8.如權利要求7所述的工件臺，其特征在于，所述工件臺形狀包括方形或圓形。
9.如權利要求8所述的工件臺，其特征在于，當所述工件臺是方形時，所述工件臺的四角上設置有防撞裝置，所述工件臺的側面設置有防撞條。
10.一種曝光裝置，其特征在于，包括如權利要求6-9中任一項所述的工件臺。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海微電子裝備（集團）股份有限公司，未經上海微電子裝備（集團）股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201711244615.9/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：光刻投影物鏡、邊緣曝光系統和邊緣曝光裝置
- 下一篇：安全裝置、工件臺及光刻機
