[發明專利]去除掩模版上顆粒的裝置和方法

在審

• 申請號: 201711234834.9
• 申請日: 2017-11-30
• 公開（公告）號: CN107942616A
• 公開（公告）日: 2018-04-20
• 發明（設計）人: 何洪波;戴韞青;王劍;趙彬
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G03F1/82
• 分類號: G03F1/82
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司31211
• 代理人: 戴廣志

1.一種去除掩模版上顆粒的裝置，其特征在于，包括：一透明的玻璃箱體，位于該玻璃箱體內的一自動開盒器，該自動開盒器的上端具有與其成一體的掩模版裝載架，且掩模版裝載架固定連接在玻璃箱體的上端，位于該玻璃箱體一側且與其密封連接的手套，位于玻璃箱體一側端的進氣口，位于與進氣口相對的玻璃箱體另一側端的出氣口。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于：還包括一照明燈，位于所述去除掩模版上顆粒的裝置外面，在進行去除掩模版上的顆粒物時，提供照明。

3.如權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述玻璃箱體為一正立方體。

4.如權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述玻璃箱體為一長立方體。

5.如權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述進氣口位于玻璃箱體左側下端靠近最外側的位置。

6.如權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述出氣口位于玻璃箱體右側上端靠近最內側的位置。

7.如權利要求1所述的裝置，其特征在于：位于所述掩模版裝載架的上端設有玻璃門。

8.一種采用權利要求1-7任一所述裝置去除掩模版上顆粒的方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1、在透明的玻璃箱體內充滿高純氮氣；

步驟2、將掩模版放在掩模版裝載架上，采用自動開盒器打開掩模版標準盒；

步驟3、打開照明燈，通過玻璃箱體觀察掩模版上存在顆粒缺陷的位置；

步驟4、通過與玻璃箱體密封連接的手套，用無塵棉簽手動去除顆粒物。