[發明專利]硬掩模用組合物

在審

• 申請號: 201711230827.1
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN108227385A
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 梁敦植;梁振錫;崔漢永
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G03F7/11
• 分類號: G03F7/11
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 鐘晶;鐘海勝

1.一種硬掩模用組合物，其包含碳原子數6～20的芳香族化合物、下述化學式1所表示的連接化合物的聚合物、和溶劑，

化學式1

化學式1中，R₁和R₂各自獨立地為碳原子數1～3的烷基、或碳原子數6～10的芳基，

X為碳原子數2～10的脂肪族亞烷基、或者至少一個亞甲基被氧原子取代的碳原子數2～10的脂肪族亞烷基，

a和b各自為0～2的整數，a與b之和為2。

2.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，所述芳香族化合物包含芘結構。

3.根據權利要求2所述的硬掩模用組合物，所述芳香族化合物包含下述化學式2所表示的化合物，

化學式2

4.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，所述化學式1中，X為碳原子數2～5的脂肪族亞烷基、或者至少一個亞甲基被氧原子取代的碳原子數2～5的脂肪族亞烷基。

5.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，所述聚合物包含下述化學式3～化學式5所表示的結構中的至少一種，

化學式3

化學式4

化學式5

化學式3～5中，Ar、Ar₁、Ar₂和Ar₃各自獨立地為碳原子數6～20的亞芳基；或者被碳原子數1～6的烷基、羥基、甲氧基或苯基取代的碳原子數6～20的亞芳基，

R₁、R₂、R₃、R₄、R₅和R₆各自獨立地為碳原子數1～3的烷基、或碳原子數6～10的芳基，

X為碳原子數2～10的脂肪族亞烷基、或者至少一個亞甲基被氧原子取代的碳原子數2～10的脂肪族亞烷基，

n、m和l各自為1～200的整數。

6.根據權利要求5所述的硬掩模用組合物，在所述化學式1中a為2且b為0的情況下，所述聚合物包含所述化學式3的結構。

7.根據權利要求5所述的硬掩模用組合物，在所述化學式1中a為1且b為1的情況下，所述聚合物包含所述化學式4的結構。

8.根據權利要求5所述的硬掩模用組合物，在所述化學式1中a為0且b為2的情況下，所述聚合物包含所述化學式5的結構。

9.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，其進一步包含交聯劑、催化劑和表面活性劑中的至少一種。