[發(fā)明專利]環(huán)形陶瓷封裝外殼的自定位裝架方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711230802.1 | 申請(qǐng)日: | 2017-11-29 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN108257903B | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-10-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉海;許麗清;陳宇寧;夏雨楠 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所 |
| 主分類號(hào): | H01L21/68 | 分類號(hào): | H01L21/68;H01L23/04 |
| 代理公司: | 南京君陶專利商標(biāo)代理有限公司 32215 | 代理人: | 沈根水 |
| 地址: | 210016 *** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 環(huán)形 陶瓷封裝 外殼 定位 方法 | ||
1.環(huán)形陶瓷封裝外殼的自定位裝架方法,所述環(huán)形陶瓷封裝外殼,其結(jié)構(gòu)包括上法蘭、陶瓷組件、下法蘭,上法蘭、陶瓷組件、下法蘭自上而下通過(guò)焊料實(shí)現(xiàn)連接;
環(huán)形陶瓷封裝外殼的自定位裝架方法,其特征是設(shè)計(jì)相應(yīng)的嵌入式裝架模具,采用模具配合實(shí)現(xiàn)上、下法蘭與陶瓷組件之間的自定位;通過(guò)嵌入式裝架模具的上、下組件的各位置的直徑及高度的定位設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)下法蘭、陶瓷組件、上法蘭及焊料的自定位,具體包括如下步驟:
(1)模具設(shè)計(jì):
1)根據(jù)環(huán)形外殼下法蘭的外直徑尺寸D1=27.98mm,配合尺寸公差,設(shè)計(jì)自定位嵌入式裝架模具下組件的內(nèi)側(cè)直徑MDi1=28.05mm,公差x為0.07mm;
2)根據(jù)環(huán)形外殼陶瓷組件的直徑尺寸D2=32 mm,配合尺寸公差,設(shè)計(jì)自定位嵌入式裝架模具下組件的內(nèi)側(cè)直徑MDi2=32.05mm,公差x為0.05mm;
3)配合石墨模具側(cè)壁厚度X=3.95 mm,由公式裝架模具下組件的外圍直徑MDo1=石墨模具側(cè)壁厚度X+自定位嵌入式裝架模具下組件的內(nèi)側(cè)直徑 MDi2=3.95+32.05=36mm;
4)根據(jù)環(huán)形外殼下法蘭的高度H1=1.95 mm,配合公差,設(shè)計(jì)自定位嵌入式裝架模具下組件法蘭定位圓臺(tái)階高度MHi1=1.92 mm ,公差z為-0.03mm;
5)根據(jù)環(huán)形外殼上法蘭的直徑尺寸D3=22.04mm,配合尺寸公差,設(shè)計(jì)自定位嵌入式裝架模具上組件的內(nèi)側(cè)直徑MDi3=21.95mm,公差x 為-0.09 mm;根據(jù)自定位嵌入式裝架模具下組件的內(nèi)側(cè)直徑 MDi2,配合尺寸公差,設(shè)計(jì)模具上組件的外側(cè)直徑MDo2=31.98mm,公差y為-0.07mm;
6)根據(jù)環(huán)形外殼的上法蘭高度H2=4.15mm,配合尺寸公差,設(shè)計(jì)自定位嵌入式裝架模具上組件法蘭定位圓臺(tái)階的高度MHi2=3.5 mm,公差z為-0.75 mm;
7)根據(jù)環(huán)形外殼下法蘭高度H1、上法蘭高度H2、陶瓷件高度H3=2.0 mm、采用的焊料片厚度H4= 0.2 mm、石墨模具下組件底片的厚度H5= 2 mm及石墨模具上組間上片厚度H6=2mm,配合尺寸公差,設(shè)計(jì)自定位嵌入式裝架模具下組件高度MHD= 12.5 mm,公差z為0.1 mm;
8)根據(jù)自定位嵌入式裝架模具上組件法蘭定位圓臺(tái)階的高度MHi2及石墨模具上組間上片厚度H6,配合尺寸公差,設(shè)計(jì)自定位嵌入式裝架模具上組件高度MHU=MHi2+H6= 5.5 mm;
9)根據(jù)設(shè)計(jì)的自定位裝架模具各個(gè)直徑及對(duì)應(yīng)位置的厚度尺寸,運(yùn)用AUTOCAD軟件繪制環(huán)形外殼的嵌入式自定位裝架模具的設(shè)計(jì)圖紙,進(jìn)行模具的機(jī)加工成型;
(2)零件準(zhǔn)備;
(3)裝架釬焊:在自定位嵌入式裝架模具的下組件定位槽內(nèi)依次對(duì)應(yīng)放入下法蘭、釬焊焊料、鍍鎳的陶瓷組件、釬焊焊料、上法蘭,將裝架模具的上組件對(duì)應(yīng)嵌入下組件內(nèi),保證上組間的外緣與下組件的內(nèi)緣重合,輕微旋轉(zhuǎn)傾斜裝架模具,達(dá)到各組件間的精密配合,完成該步驟后,把裝架好部件模具放入釬焊爐采用常規(guī)釬焊工藝完成裝架釬焊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)形陶瓷封裝外殼的自定位裝架方法,其特征是所述步驟(2)零件準(zhǔn)備:陶瓷組件鍍鎳待用,法蘭退火鍍鎳待用,焊料清洗待用,加工好的石墨模具進(jìn)行清潔處理后待用。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)形陶瓷封裝外殼的自定位裝架方法,其特征在于:所述的嵌入式自定位裝架模具的直徑和高度尺寸(MD、MH),運(yùn)用AUTOCAD軟件繪制環(huán)形陶瓷封裝外殼的嵌入式自定位裝架模具的設(shè)計(jì)圖紙,進(jìn)行模具的機(jī)加工成型;模具的材料采用光譜石墨,模具的各尺寸機(jī)加工嚴(yán)格按照?qǐng)D紙公差完成,確保自定位同心裝架的可實(shí)現(xiàn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)形陶瓷封裝外殼的自定位裝架方法,其特征在于:所述的陶瓷件鍍鎳、法蘭退火鍍鎳、焊料清洗、機(jī)加工后的石墨模具進(jìn)行清潔處理待,準(zhǔn)備的零件需平整無(wú)變形。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)形陶瓷封裝外殼的自定位裝架方法,其特征在于:在自定位嵌入式裝架模具的下組件定位槽內(nèi)依次對(duì)應(yīng)放入下法蘭、釬焊焊料、鍍鎳的陶瓷組件、釬焊焊料、上法蘭,將裝架模具的上組件對(duì)應(yīng)嵌入下組件內(nèi),保證上組間的外緣與下組件的內(nèi)緣重合,輕微旋轉(zhuǎn)傾斜裝架模具,達(dá)到各組件間的精密配合。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





