[發(fā)明專利]一種高功率密度復(fù)雜組合體系微波組件的裝配方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711228782.4 | 申請(qǐng)日: | 2017-11-29 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN108091582B | 公開(kāi)(公告)日: | 2019-11-08 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王帥;陳思;高源;范萍 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 上海無(wú)線電設(shè)備研究所 |
| 主分類號(hào): | H01L21/60 | 分類號(hào): | H01L21/60;H01L23/488 |
| 代理公司: | 上海信好專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31249 | 代理人: | 周榮芳 |
| 地址: | 200090 *** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 燒結(jié) 納米銀漿 焊接 裝配 載體模塊 盒體 基板 大功率芯片 復(fù)雜組合 微波組件 高功率 表面貼裝器件 焊點(diǎn) 電連接器 功率芯片 互連材料 可裝配性 釬焊焊料 散熱問(wèn)題 導(dǎo)電膠 燒焊 粘結(jié) 重熔 固化 芯片 | ||
本發(fā)明公開(kāi)了一種高功率密度復(fù)雜組合體系微波組件的裝配方法,其包含以下步驟:步驟1:將大功率芯片通過(guò)納米銀漿燒結(jié)在載體上以形成載體模塊,燒結(jié)溫度為T1;步驟2:將基板與電連接器焊接在盒體上,焊接溫度為T2;步驟3:將表面貼裝器件焊接在基板上,焊接溫度為T3;步驟4:將載體模塊中的載體通過(guò)納米銀漿燒結(jié)在盒體上,燒結(jié)溫度為T4;步驟5:將其余芯片通過(guò)導(dǎo)電膠粘結(jié)在基板上,固化溫度為T5。本發(fā)明所提供的裝配方法可以有效確保所有溫度的燒焊面及焊點(diǎn)不存在重熔風(fēng)險(xiǎn);大功率芯片與載體、載體模塊與盒體的裝配均采用納米銀漿燒結(jié),能夠顯著改善功率芯片的散熱問(wèn)題;使用納米銀漿作為互連材料,其可裝配性及操作性均比釬焊焊料優(yōu)越。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及微波組件的封裝技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種高功率密度復(fù)雜組合體系微波組件的裝配方法。
背景技術(shù)
微波混合集成電路有兩種基本組裝方法:“芯片與引線”,即用環(huán)氧或軟釬焊把未封裝的半導(dǎo)體器件機(jī)械粘接/焊接到基板的金屬化焊盤上并通過(guò)引線鍵合實(shí)現(xiàn)電連接;“表面貼裝”,即將封裝好的器件、電阻、電容等軟釬焊到基板上,同時(shí)實(shí)現(xiàn)電與機(jī)械連接。這兩種方法常常在一塊基板上同時(shí)使用。
上述兩種裝配方法同時(shí)使用時(shí),涉及到多溫度梯度的燒焊裝配。在封裝過(guò)程中,不允許出現(xiàn)前一級(jí)燒焊的焊料在后一級(jí)燒焊時(shí)發(fā)生再次融化的現(xiàn)象。因此需要進(jìn)行帶有溫度梯度的燒焊裝配。為了保證可靠性,相鄰溫度梯度的燒結(jié)溫度需要相鄰30℃左右。微波混合集成電路需要分別裝配燒焊的對(duì)象有大功率芯片、載體、基板、SMD(Surface MountedDevices,表面貼裝器件)、盒體等。
在典型裝配組合中,對(duì)發(fā)熱量大的大功率芯片的燒焊采用熔點(diǎn)為280℃的金錫焊料,逐漸不能滿足散熱要求(熱導(dǎo)率<80W/mK)。同時(shí)載體與盒體的焊接由于溫度梯度的限制,只能選擇140-160℃的焊料,而該區(qū)間內(nèi)的焊料潤(rùn)濕性較差,焊接質(zhì)量不高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種高功率密度復(fù)雜組合體系微波組件的裝配方法,以提高對(duì)大功率芯片的散熱性能及載體與盒體的焊接性。
為達(dá)到上述目的,本發(fā)明提供了一種高功率密度復(fù)雜組合體系微波組件的裝配方法,其包含以下步驟:
步驟1:將大功率芯片通過(guò)納米銀漿燒結(jié)在載體上以形成載體模塊,燒結(jié)溫度為T1;
步驟2:將基板與電連接器焊接在盒體上,焊接溫度為T2;
步驟3:將表面貼裝器件焊接在基板上,焊接溫度為T3;
步驟4:將載體模塊中的載體通過(guò)納米銀漿燒結(jié)在盒體上,燒結(jié)溫度為T4;
步驟5:將其余芯片通過(guò)導(dǎo)電膠粘結(jié)在基板上,固化溫度為T5。
上述的高功率密度復(fù)雜組合體系微波組件的裝配方法,其中,所述溫度滿足以下條件:T1>T2>T3>T4>T5。
上述的高功率密度復(fù)雜組合體系微波組件的裝配方法,其中,所述步驟5還包括以下步驟:在固化前,同時(shí)將其它粘結(jié)器件通過(guò)導(dǎo)電膠粘結(jié)在盒體上。
上述的高功率密度復(fù)雜組合體系微波組件的裝配方法,其中,其還包括步驟6:將蓋板通過(guò)激光封焊焊接在盒體上。
上述的高功率密度復(fù)雜組合體系微波組件的裝配方法,其中,步驟2中,所述焊接的材料為SnAgCu。
上述的高功率密度復(fù)雜組合體系微波組件的裝配方法,其中,步驟2中,所述焊接的方法為真空焊接。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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