[發明專利]一種高粘附力速顯影性干膜抗蝕劑

有效

• 申請號: 201711228751.9
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN107942618B
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 朱薛妍;李志強;李偉杰;周光大;林建華
• 申請（專利權）人: 浙江福斯特新材料研究院有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/027
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 邱啟旺

1.一種高粘附力速顯影性感光干膜抗蝕劑，其特征在于：它由溶劑和溶解在溶劑中的抗蝕核心組分組成；所述抗蝕核心組分的濃度為30-50 wt%，包含堿可溶性樹脂、烯屬光聚合性不飽和單體、光聚合引發劑、染色劑和添加劑，它們在抗蝕核心組分中的含量分別為30-70 wt%、15-60 wt%、0.1-10 wt%、0.1-5 wt%、0.01-1wt%，所述烯屬光聚合性不飽和單體包括具有下述通式(I)所示的含環糊精基團的烯屬不飽和雙鍵化合物、含有雙酚A結構的丙烯酸化合物、含有聚乙二醇鏈段的二甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯以及含有磷酸基團的丙烯酸羥乙基酯化合物，且它們在烯屬光聚合性不飽和單體中的含量分別為10-50 wt%、10-30 wt%、5-15 wt%、15-60 wt%、1-3 wt%；

(Ⅰ)

式中，R₁和R₂分別獨立地選自氫、甲基；圓環表示D-吡喃葡萄糖單元連接的環，n表示D-吡喃葡萄糖單元的個數，為6-12的任意一個整數。

2.根據權利要求1所述的高粘附力速顯影性感光干膜抗蝕劑，其特征在于：所述n為6-8。

3.根據權利要求2所述的高粘附力速顯影性感光干膜抗蝕劑，其特征在于：所述n為7。

4.根據權利要求1所述的高粘附力速顯影性感光干膜抗蝕劑，其特征在于，所述堿可溶性樹脂包括通式(Ⅱ)所示的(甲基) 丙烯酸、通式(Ⅲ)所示的(甲基)丙烯酸酯、通式(Ⅳ)所示的苯乙烯或者苯乙烯類衍生物，且它們在堿可溶性樹脂中的含量分別為10-30 wt%，55-80 wt%，1-15 wt%；

(Ⅱ)，其中，R₃為氫原子或者甲基；

(Ⅲ)，其中，R₄為氫原子或者甲基，R₅選自C₁-C₁₈的烷基、C₂-C₆的烷氧基；

(Ⅳ)，其中，R₆為氫原子或者甲基，R₇選自氫原子、甲基、甲氧基、叔丁基、鹵素原子。

5.根據權利要求1所述的高粘附力速顯影性感光干膜抗蝕劑，其特征在于，所述堿可溶性樹脂重均分子量在50000-150000。

6.根據權利要求1所述的高粘附力速顯影性感光干膜抗蝕劑，其特征在于，所述光聚合引發劑由安息香醚、二苯甲酮及其衍生物、硫雜蒽酮系化合物、蒽醌及其衍生物、噻噸酮系列化合物、六芳基雙咪唑系列化合物中的一種或多種按照任意配比混合組成。

7.根據權利要求1所述的高粘附力速顯影性感光干膜抗蝕劑，其特征在于，所述添加劑由增塑劑、消泡劑、阻聚劑中的一種或者多種按任意配比混合組成。

8.根據權利要求1所述的高粘附力速顯影性感光干膜抗蝕劑，其特征在于，所述溶劑由丁酮、丙酮、異丙醇、甲醇、乙醇的一種或者多種按任意配比混合組成。

9.根據權利要求5所述的高粘附力速顯影性感光干膜抗蝕劑，其特征在于，所述堿可溶性樹脂重均分子量為70000-120000。