[發明專利]一種基板旋轉裝置以及基板對位方法

有效

• 申請號: 201711228325.5
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN107889365B
• 公開（公告）日: 2020-02-28
• 發明（設計）人: 宋衛華;成斌;何鳳雷
• 申請（專利權）人: 南京協辰電子科技有限公司
• 主分類號: H05K3/00
• 分類號: H05K3/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 吳黎

1.一種基板旋轉裝置，其包括：

基座；

工作平臺，所述工作平臺用于支撐基板；

所述基座的頂面與所述工作平臺的底面之間設置有至少一個驅動所述工作平臺運動的驅動裝置，所述驅動裝置包括驅動機構和與之連接的引導機構；

其特征在于：

所述引導機構包括引導所述工作平臺在水平面內移動的直線引導機構和支撐旋轉機構，所述支撐旋轉機構連接所述直線引導機構與所述工作平臺，所述旋轉裝置還包括從動引導裝置，所述從動引導裝置為直線從動模組，所述直線從動模組安裝在所述基座上，并與所述支撐旋轉機構連接，以支撐所述工作平臺；通過所述驅動裝置的組合使用控制所述工作平臺進行直線平移和/或轉動和/或轉動偏移。

2.根據權利要求1所述的旋轉裝置，其特征在于：所述引導機構還包括潤滑機構，所述潤滑機構潤滑所述引導機構。

3.根據權利要求2所述的旋轉裝置，其特征在于：所述直線引導機構包括在水平面內互相垂直設置的直線引動模組，所述支撐旋轉機構為軸承。

4.根據權利要求3所述的旋轉裝置，其特征在于：所述直線引動模組包括兩個相互平行設置的X軸直線引動模組，以及一個與所述X軸直線引動模組垂直設置的Y軸直線引動模組。

5.根據權利要求4所述的旋轉裝置，其特征在于：所述直線引動模組包括模組基座、絲桿和導軌組件，所述絲桿分別與所述驅動機構和所述導軌組件連接，所述模組基座支撐所述直線引動模組的各部件，所述模組基座與旋轉裝置的所述基座固定連接，所述導軌組件與所述軸承連接。

6.根據權利要求5所述的旋轉裝置，其特征在于：所述導軌組件包括與所述絲桿平行設置的第一導軌部以及與所述絲桿垂直設置的第二導軌部，所述第一導軌部與所述絲桿連接，所述第二導軌部分別與所述第一導軌部和所述軸承連接。

7.根據權利要求6所述的旋轉裝置，其特征在于：所述第一導軌部包括第一導軌和與之配合的第一滑塊，所述第二導軌部包括第二導軌和與之配合的第二滑塊，所述第一導軌設置在所述模組基座上，所述第一滑塊與所述絲桿連接，所述第二導軌設置在所述第一滑塊上，所述軸承連接所述第二滑塊與所述工作平臺。

8.根據權利要求5-7任意一項所述的旋轉裝置，其特征在于：所述直線從動模組平行于所述Y軸直線引動模組設置。

9.根據權利要求8所述的旋轉裝置，其特征在于：所述直線從動模組包括從動模組基座和從動導軌組件，所述從動模組基座支撐所述從動導軌組件，所述從動模組基座與旋轉裝置的基座固定連接，所述導軌組件與所述軸承連接。

10.根據權利要求9所述的旋轉裝置，其特征在于：所述從動導軌組件包括互相垂直的第一從動導軌部和第二從動導軌部，所述第一從動導軌部與所述從動模組基座連接，所述第二從動導軌部分別與所述第一從動導軌部和所述軸承連接。

11.根據權利要求10所述的旋轉裝置，其特征在于：所述第一從動導軌部包括第一從動導軌和與之配合的第一從動滑塊，所述第二從動導軌部包括第二從動導軌和與之配合的第二從動滑塊，所述第一從動導軌設置在所述從動模組基座上，所述第二從動導軌設置在所述第一從動滑塊上，所述軸承連接所述第二從動滑塊與所述工作平臺。

12.根據權利要求7中所述的旋轉裝置，其特征在于：所述直線引動模組還包括位置傳感器和限位件。

13.根據權利要求12所述的旋轉裝置，其特征在于：所述位置傳感器為光電傳感器，所述限位件包括設置于所述模組基座上的位于所述第一滑塊兩側的限位塊。

14.根據權利要求3-7任意一項所述的旋轉裝置，其特征在于：所述軸承為交叉滾柱軸承。