[發明專利]掩膜組件及其曝光方法

有效

• 申請號: 201711220104.3
• 申請日: 2017-11-28
• 公開（公告）號: CN109839799B
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發明（設計）人: 郁侃;徐廣軍;范剛洪;王群
• 申請（專利權）人: 上海儀電顯示材料有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 吳敏

一種掩膜組件及其曝光方法，通過交疊設置的第一掩膜板和第二掩膜板，使第一掩膜板的第一圖形和第二掩膜板的第二圖形相配合以形成目標圖形，第一偏移標記對用于與所對應基準標記相對準。因此通過第一圖形和第二圖形的組合，能夠形成不同形狀的目標圖形；而且第一偏移標記對之間間距與相鄰基準標記之間間距不相等，所以通過使不同的第一偏移標記對與相對應基準標記相對準，從而使第一圖形和第二圖形之間產生相對位移，形成線寬、線距不同的目標圖形；也就是說，本發明技術方案能夠通過一個掩膜組件形成不同形狀、線寬、線距的目標圖形，從而能夠有效減少掩膜板的數量，能夠有效降低工藝成本，進而有利于彩色濾光基板成本的控制。

技術領域

本發明涉及平板顯示領域，尤其涉及一種掩膜組件及其曝光方法。

背景技術

液晶顯示裝置以體積小，重量輕，低輻射等優點廣泛應用于各種領域。

液晶顯示面板是液晶顯示裝置中最主要的組成部分。所述液晶顯示面板包括陣列基板(Thin Film Transistor，即TFT基板)、與所述陣列基板相對的彩色濾光基板(ColorFilter，即CF基板)以及填充于陣列基板和彩色濾光基板之間的液晶。其中，所述陣列基板和彩色濾光基板上的電極通過控制液晶分子的偏轉，以調節外界光的通過率，進而達到顯示的目的。

參考圖1，示出了一種液晶顯示面板中彩色濾光基板的剖面結構示意圖。此處，以薄膜晶體管液晶顯示面板(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，TFT-LCD)為例進行說明。

目前所述彩色濾光基板主要包括：第一玻璃基板10；位于所述第一玻璃基板10上的黑矩陣層11(Black Matrix，BM層)、位于所述黑矩陣層11之間的彩色光阻層12(Red、Green、Blue，RGB層)、覆蓋于所述黑矩陣層11和彩色光阻層12上的保護層13(Over Coat，OC層)、覆蓋于所述保護層13上的透明導電層14(ITO層)以及位于所述透明導電層14上的間隔柱15(Photo Spacer，PS)。

其中，彩色光阻層12包括：藍色光阻12b、紅色光阻12r和綠色光阻12g，用于分別透過白光中的藍光、紅光和綠光，所述透明導電層14用作公共電極。

參考圖2，示出了一種液晶顯示面板的剖面結構示意圖。

所述液晶顯示面板還包括覆蓋所述彩色濾光基板的陣列基板，所述陣列基板包括：第二玻璃基板20，位于所述第二玻璃基板20上的電極層21，所述電極層21包括多條柵極線和多條數據線以及位于柵極線和數據線交界處的薄膜晶體管(Thin Film Transistor，TFT)，所述柵極線和數據線圍成一個子像素22(Sub Pixel)，所述薄膜晶體管的漏極連接有像素電極。

所述陣列基板與所述彩色濾光基板以及所述間隔柱15圍成的空間構成液晶盒，液晶填充于所述液晶盒中。陣列基板上像素電極和彩色濾光基板上公共電極之間形成的電場，能夠控制液晶盒內液晶分子16的偏轉角度，進而改變從所述液晶盒內透射光線的強度。

另一方面，所述彩色濾光基板上的所述藍色光阻12b、所述紅色光阻12r和所述綠色光阻12g，與陣列基板上的子像素22一一對應，三個子像素22構成一個像素23。

背光30經所述液晶盒透射后，透射至所述彩色光阻層12內，分別從所述藍色光阻12b、所述紅色光阻12r和所述綠色光阻12g。隨著不同液晶盒內液晶分子16偏轉角度的不同，透射不同液晶盒的光線強度不同，因此從所述藍色光阻12b、所述紅色光阻12r和所述綠色光阻12g出射的不同顏色光量也不盡相同，再基于加法混色原理使像素23可以得到豐富的色彩表現。

所以根據用途不同，液晶顯示裝置的性能要求也不同，因此彩色濾光基板上各層的形狀和線寬、線距會隨著液晶顯示裝置性能要求的改變而改變?，F有技術制作不同形狀、線寬、線距的彩色濾光基板，往往存在成本較高的問題。

發明內容