[發明專利]沉積環固定組件、承載裝置及反應腔室

有效

• 申請號: 201711215971.8
• 申請日: 2017-11-28
• 公開（公告）號: CN109837518B
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: 李冰
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/35
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種沉積環固定組件，其特征在于，包括支撐柱、固定板、限位件以及彈性件，其中：

支撐柱，所述支撐柱的第一端用于與沉積環連接；

固定板，固定設置且所述固定板上開設有安裝孔，所述支撐柱的第二端貫穿所述安裝孔；

限位件，設置在所述支撐柱上；所述限位件位于所述固定板下方，且所述限位件套置在所述支撐柱的外周壁上；

彈性件，被限制在所述限位件和所述固定板之間，且在其彈力作用下所述支撐柱能在所述安裝孔內下降，以向所述沉積環施加壓緊力來固定沉積環。

2.根據權利要求1所述的沉積環固定組件，其特征在于，所述支撐柱包括柱本體和第一凸塊，所述柱本體的第一端沿徑向向外形成所述第一凸塊，所述第一凸塊用于搭接在所述沉積環上設置的搭接面上。

3.根據權利要求2所述的沉積環固定組件，其特征在于，所述支撐柱還包括第二凸塊，所述第二凸塊位于所述第一凸塊和所述固定板之間，所述第二凸塊用于防止所述支撐柱在安裝過程中自所述安裝孔掉落。

4.根據權利要求3所述的沉積環固定組件，其特征在于，所述第一凸塊采用絕緣材料制成。

5.根據權利要求4所述的沉積環固定組件，其特征在于，所述柱本體、所述第一凸塊和所述第二凸塊一體成型。

6.根據權利要求2所述的沉積環固定組件，其特征在于，所述支撐柱能夠在所述安裝孔內繞自身軸線旋轉。

7.根據權利要求6所述的沉積環固定組件，其特征在于，所述彈性件為壓簧，套置在所述支撐柱的外周壁上。

8.一種承載裝置，包括用于承載晶片的基座，其特征在于，還包括沉積環和采用權利要求1-7任意一項所述的沉積環固定組件。

9.根據權利要求8所述的承載裝置，其特征在于，所述支撐柱包括柱本體和第一凸塊，所述柱本體的第一端沿徑向向外形成所述第一凸塊；

所述沉積環上設置有供所述柱本體和所述第一凸塊進入的通道；

所述通道的內壁上形成有凹部或者缺口，所述凹部或者所述缺口的底面作為搭接面，所述第一凸塊搭接在所述搭接面上。

10.一種反應腔室，其特征在于，包括權利要求8或9所述的承載裝置。