[發(fā)明專利]用于電阻式晶種襯底電鍍的導(dǎo)電總線條的結(jié)構(gòu)及方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711213472.5 | 申請(qǐng)日： | 2017-11-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN108122891B | 公開（公告）日： | 2021-03-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | S·艾哈邁德;S·V·德斯潘德;荻野淳 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 格芯(美國(guó))集成電路科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L23/58 | 分類號(hào)： | H01L23/58 |
| 代理公司： | 北京戈程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11314 | 代理人： | 程偉;王錦陽(yáng) |
| 地址： | 美國(guó)加利*** | 國(guó)省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 電阻 式晶種 襯底 電鍍 導(dǎo)電 線條 結(jié)構(gòu) 方法 | ||
1.一種制造半導(dǎo)體裝置的方法，該方法包含：
提供半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，該半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包含半導(dǎo)體襯底，其上具有多條水平與垂直切割道，該切割道就多個(gè)半導(dǎo)體界定多個(gè)半導(dǎo)體區(qū)，該多個(gè)半導(dǎo)體至少有一些位于該多個(gè)半導(dǎo)體區(qū)的至少一些中；以及
在該半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)上方形成就該多個(gè)半導(dǎo)體作用為總線條的金屬性結(jié)構(gòu)，其中，形成該金屬性結(jié)構(gòu)包含：
沿著該多條水平與垂直切割道的諸對(duì)立側(cè)形成多個(gè)連續(xù)溝槽；以及
金屬化該連續(xù)溝槽而產(chǎn)生金屬化連續(xù)溝槽，使得該金屬化連續(xù)溝槽作用為該總線條。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，更包含在該金屬化之后，制作/印刷該多個(gè)半導(dǎo)體的任何剩余部分。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，該制作/印刷包含：
在該金屬化連續(xù)溝槽上方形成保護(hù)層；
就該多個(gè)半導(dǎo)體的該任何剩余部分進(jìn)行圖型化而產(chǎn)生圖型：
移除該保護(hù)層；以及
金屬化該圖型。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，形成該金屬性結(jié)構(gòu)包含：
在該多個(gè)半導(dǎo)體區(qū)的轉(zhuǎn)角處形成多個(gè)止裂溝槽；以及
金屬化該多個(gè)止裂溝槽而產(chǎn)生金屬化止裂溝槽，使得該金屬化止裂溝槽電連接在一起。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，更包含在金屬化該多個(gè)連續(xù)溝槽及該多個(gè)止裂溝槽之后，制作/印刷該多個(gè)半導(dǎo)體的任何剩余部分。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中，該制作/印刷包含：
在該金屬化連續(xù)溝槽及該金屬化止裂溝槽上方形成保護(hù)層；
就該多個(gè)半導(dǎo)體的該任何剩余部分進(jìn)行圖型化而產(chǎn)生圖型：
移除該保護(hù)層；以及
金屬化該圖型。
7.一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，包含：
半導(dǎo)體襯底，其上具有多條水平與垂直切割道，該切割道就多個(gè)半導(dǎo)體界定多個(gè)半導(dǎo)體區(qū)，其中，該多個(gè)半導(dǎo)體位于該半導(dǎo)體襯底上方及/或該多個(gè)半導(dǎo)體區(qū)中；以及
金屬性結(jié)構(gòu)，位在該多個(gè)半導(dǎo)體上方從而作用為總線條，其中，該金屬性結(jié)構(gòu)包含沿著該多條水平與垂直切割道的諸對(duì)立側(cè)的多個(gè)金屬化連續(xù)溝槽。
8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其中，該金屬性結(jié)構(gòu)包含位于該多個(gè)半導(dǎo)體的印刷電路的轉(zhuǎn)角處的多個(gè)電連接金屬化止裂溝槽。
9.一種制造半導(dǎo)體裝置的方法，該方法包含：
提供起始半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)；
就該起始半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)進(jìn)行FEOL(前段制程)制作而產(chǎn)生已制作半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其中，該已制作半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包含半導(dǎo)體襯底，其上具有多條水平與垂直切割道，該切割道就多個(gè)半導(dǎo)體界定多個(gè)半導(dǎo)體區(qū)，該多個(gè)半導(dǎo)體至少有一些位于該多個(gè)半導(dǎo)體區(qū)的至少一些中，其中，該已制作半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包含在該多個(gè)半導(dǎo)體區(qū)的轉(zhuǎn)角處的多個(gè)止裂溝槽；以及
在BEOL(后段制程)形成導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，該導(dǎo)電結(jié)構(gòu)就該已制作半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)作用為總線條，其中，該形成導(dǎo)電結(jié)構(gòu)包含金屬化該多個(gè)止裂溝槽而產(chǎn)生金屬化止裂溝槽，使得該金屬化止裂溝槽電連接在一起。
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