[發明專利]一種氣體分配器孔徑檢驗工裝在審
| 申請號： | 201711204105.9 | 申請日： | 2017-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN107966088A | 公開（公告）日： | 2018-04-27 |
| 發明（設計）人： | 游利;翟子健 | 申請（專利權）人： | 靖江先鋒半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | G01B5/12 | 分類號： | G01B5/12;G01B5/00;C23C16/455 |
| 代理公司： | 靖江市靖泰專利事務所32219 | 代理人： | 陸平 |
| 地址： | 214500 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氣體 分配器 孔徑 檢驗 工裝 | ||
【權利要求書】：
1.一種氣體分配器孔徑檢驗工裝，其特征是：包括定位底板（1），以及連接在定位底板（1）上的檢驗上板（2）；所述的定位底板（1）中間部位設置有開口（3）；所述的檢驗上板（2）上設置有若干個用于放置氣體分配器（101）的通孔（4）；所述的開口（3）的面積大于通孔（4）的面積。
2.根據權利要求1所述的一種氣體分配器孔徑檢驗工裝，其特征是：所述的定位底板（1）為四邊形結構，通過螺栓連接在檢測設備上。
3.根據權利要求1所述的一種氣體分配器孔徑檢驗工裝，其特征是：所述的檢驗上板（2）與定位底板（1）的外形相同。
4.根據權利要求1所述的一種氣體分配器孔徑檢驗工裝，其特征是：所述的定位底板（1）和檢驗上板（2）之間通過第一定位銷（5）定位，螺栓連接。
5.根據權利要求1所述的一種氣體分配器孔徑檢驗工裝，其特征是：所述的通孔（4）數量為9個。
6.根據權利要求1所述的一種氣體分配器孔徑檢驗工裝，其特征是：所述的氣體分配器（101）與通孔（4）配合，并由第二定位銷（6）定位在檢驗上板（2）上。
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