[發明專利]用于調整模板的位置的系統和方法

有效

• 申請號: 201711200016.7
• 申請日: 2017-11-27
• 公開（公告）號: CN108121171B
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 崔炳鎮;水野誠
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F7/00
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 楊小明

1.一種用于調整第一壓印光刻模板與第二壓印光刻模板的相對位置的方法，其特征在于，所述方法包括：

確定第一模板的有效區域的相鄰區域的相鄰表面的第一多個位置點，其中第一模板的有效區域包含構圖特征，并且其中所述相鄰區域的表面和有效區域的表面形成第一模板的連續表面，其中，確定第一多個位置點包含：在第一傳感器和第一模板之間提供相對移動，以及，在與第一多個位置點相對應的位置處測量第一傳感器與第一模板的有效區域的相鄰區域的表面之間的距離；

基于第一多個位置點識別第一模板的所述相鄰區域的表面的平面；

確定第二模板的有效區域的表面的第二多個位置點，其中第二模板的有效區域從第二模板的表面突出，并且其中第一模板的構圖特征要被復制在第二模板的突出的有效區域上，其中，確定第二多個位置點包含：在第二傳感器和第二模板之間提供相對移動，以及，在與第二多個位置點相對應的位置處測量第二傳感器與第二模板的有效區域的表面之間的距離；

基于第二多個位置點識別第二模板的有效區域的表面的平面；以及

基于第一模板的所述相鄰區域的表面的平面和第二模板的有效區域的表面的平面，調整第一模板和第二模板的相對位置。

2.根據權利要求1所述的方法，還包括：

比較第一模板的所述相鄰區域的表面的平面與第二模板的有效區域的表面的平面；以及

基于所述比較，評估第一模板的所述相鄰區域的表面的平面與第二模板的有效區域的表面的平面之間的調平誤差，

其中，調整第一模板與第二模板的相對位置是基于調平誤差的。

3.根據權利要求2所述的方法，其中，第一模板和第二模板的相對位置被調整以補償調平誤差。

4.根據權利要求1所述的方法，其中，調整第一模板和第二模板的相對位置包含調整第一模板的所述相鄰區域的表面的平面與第二模板的有效區域的表面的平面之間的相對角度。

5.根據權利要求1所述的方法，其中，第一模板的所述相鄰區域包圍第一模板的有效區域。

6.根據權利要求1所述的方法，其中，第一多個位置點和第二多個位置點被同時確定。

7.一種用于調整第一壓印光刻模板和第二壓印光刻模板的相對位置的系統，其特征在于，所述系統包括：

第一模板保持器，被配置為保持第一模板，第一模板包含有效區域和有效區域的相鄰區域，其中第一模板的有效區域包含構圖特征，并且其中所述相鄰區域的相鄰表面和有效區域的表面形成第一模板的連續表面；

第二模板保持器，被配置為保持第二模板，第二模板包含有效區域，其中第二模板的有效區域從第二模板的表面突出，并且其中第一模板的構圖特征要被復制在第二模板的突出的有效區域上；

第一感測設備，被配置為確定第一模板的所述相鄰區域的表面的第一多個位置點，其中，第一多個位置點是基于第一傳感器和第一模板之間的相對移動以及在與第一多個位置點相對應的位置處測量第一傳感器與第一模板的有效區域的相鄰區域的表面之間的距離來確定的；

第二感測設備，被配置為確定第二模板的有效區域的表面的第二多個位置點，其中，第二多個位置點是基于第二傳感器和第二模板之間的相對移動以及在與第二多個位置點相對應的位置處測量第二傳感器與第二模板的有效區域的表面之間的距離來確定的；

致動器系統，被配置為調整第一模板和第二模板的相對位置；以及

處理設備，被配置為i)基于第一多個位置點識別第一模板的所述相鄰區域的表面的平面、ii)基于第二多個位置點識別第二模板的有效區域的表面的平面、以及iii)向致動器系統提供信號使得致動器系統基于第一模板的所述相鄰區域的表面的平面和第二模板的有效區域的表面的平面調整第一模板和第二模板的相對位置。