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[發(fā)明專(zhuān)利]一種導(dǎo)體材料的切割方法在審

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201711190109.6 申請(qǐng)日: 2017-11-24
公開(kāi)(公告)號(hào): CN108080756A 公開(kāi)(公告)日: 2018-05-29
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 武小宇 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 西安工業(yè)大學(xué)
主分類(lèi)號(hào): B23H7/02 分類(lèi)號(hào): B23H7/02;B23H11/00
代理公司: 西安新思維專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 61114 代理人: 黃秦芳
地址: 710032 陜*** 國(guó)省代碼: 陜西;61
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 電火花切割 切割 導(dǎo)體材料 切割工件 切割工件表面 導(dǎo)電材料 低電阻率 工件表面 工件切割 去離子水 同一位置 陽(yáng)極溶解 電極絲 電解液 重鑄層 去除 引入
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種導(dǎo)體材料的切割方法,其特征在于:所述的方法是將兩條電極絲安裝在同一裝夾工具中,同時(shí)使用兩條電極絲切割工件,具體方法如下:

導(dǎo)體工件被加工時(shí),選擇的電解液為低電阻率的去離子水,去離子水的電導(dǎo)率為1ms/cm-10ms/cm,第一電極絲先采用電火花的方法將工件切割開(kāi),脈沖電壓在100V-200V,第二電極絲采用陽(yáng)極溶解原理,脈沖電壓降至10V-30V,電極絲進(jìn)給速度為2-8μm/s,溶解掉第一電極絲切割過(guò)后工件表面留下的凹坑和重鑄層。

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