[發(fā)明專利]一種基于納米二氧化硅的顯示屏玻璃基板用蝕刻液

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711188569.5
• 申請(qǐng)日: 2017-11-24
• 公開（公告）號(hào): CN107935400A
• 公開（公告）日: 2018-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 章鋒;趙麗;馬勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫南理工新能源電動(dòng)車科技發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): C03C15/00
• 分類號(hào): C03C15/00;C23F1/14
• 代理公司: 北京卓特專利代理事務(wù)所(普通合伙)11572
• 代理人: 段宇

1.一種基于納米二氧化硅的顯示屏玻璃基板用蝕刻液，其特征在于，包括以下重量百分比的組合物：

納米二氧化硅 1.5％～2.5％；

硫酸鎂 1.2％～1.6％；

氟硼酸鈉 0.5％～1.6％；

硅酸鈉 2.5％～3.3％；

非質(zhì)子性溶劑 1.5％～2.3％；

穩(wěn)定劑 0.5％～1.5％；

消泡劑 3.5％～5.6％；

其余為蒸餾水。

2.如權(quán)利要求1所述的基于納米二氧化硅的顯示屏玻璃基板用蝕刻液，其特征在于，包括以下重量百分比的組合物：

納米二氧化硅 1.5％；

硫酸鎂 1.2％；

氟硼酸鈉 0.5％；

硅酸鈉 2.5％；

非質(zhì)子性溶劑 1.5％；

穩(wěn)定劑 0.5％；

消泡劑 3.5％；

其余為蒸餾水。

3.如權(quán)利要求1所述的基于納米二氧化硅的顯示屏玻璃基板用蝕刻液，其特征在于，包括以下重量百分比的組合物：

納米二氧化硅 2％；

硫酸鎂 1.4％；

氟硼酸鈉 1.1％；

硅酸鈉 2.8％；

非質(zhì)子性溶劑 1.9％；

穩(wěn)定劑 0.9％；

消泡劑 4.6％；

其余為蒸餾水。

4.如權(quán)利要求1所述的基于納米二氧化硅的顯示屏玻璃基板用蝕刻液，其特征在于，包括以下重量百分比的組合物：

納米二氧化硅 2.5％；

硫酸鎂 1.6％；

氟硼酸鈉 1.6％；

硅酸鈉 3.3％；

非質(zhì)子性溶劑 2.3％；

穩(wěn)定劑 1.5％；

消泡劑 5.6％；

其余為蒸餾水。

5.如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的基于納米二氧化硅的顯示屏玻璃基板用蝕刻液，其特征在于，所述氟硼酸鈉的濃度大于97.5％(重量百分比)，所述硅酸鈉的濃度大于89％(重量百分比)。

6.如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的基于納米二氧化硅的顯示屏玻璃基板用蝕刻液，其特征在于，所述非質(zhì)子性溶劑為司盤類非質(zhì)子性溶劑。