[發明專利]一種平板玻璃板微米級顆粒物取樣方法

有效

• 申請號: 201711185038.0
• 申請日: 2017-11-23
• 公開（公告）號: CN108287086B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 焦宗平
• 申請（專利權）人: 彩虹顯示器件股份有限公司
• 主分類號: G01N1/10
• 分類號: G01N1/10
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 徐文權

本發明公開一種平板玻璃板微米級顆粒物取樣方法，根據AOI設備檢測微米級顆粒物坐標位置、大小尺寸等特征信息，根據該檢測信息，使用量具在平板玻璃確定顆粒物的初步位置，采用強光LED燈側光斜照射該初步位置，確定顆粒物的準確位置，同時觀測顆粒物影像，由顆粒物影像亮暗程度及重影特征判定顆粒物屬性，然后對顆粒物的準確位置進行切割，并用PE保護專用膜或培養皿包裝裁切玻璃平板樣品，解決了平板玻璃顆粒物取樣易被各種污染物干擾的問題，該方法具有較高的使用價值和推廣價值。

技術領域

本發明涉及平板玻璃缺陷的檢測領域，具體為一種平板玻璃板微米級顆粒物取樣方法，在無污染條件下能夠快速準確的對平板玻璃的微米級顆粒物進行取樣。

背景技術

平板玻璃板常用于平板顯示領域的基板，如液晶玻璃基板和有機發光二極管玻璃基板，其中TFT-LCD面板使用二片液晶玻璃基板，分別用來制作底層薄膜晶體管陣列的基板和上層彩色濾波薄膜的基板，兩種產品在LCD制程中需要多次精密光刻加工，要求液晶玻璃基板制作表面顆粒物和內部夾雜物，應控制在20um以內。

在實際生產質量管理中，通常需要取樣分析20um以內微米級顆粒物，進行質量改善對策。但是在顆粒物取樣操作過程，存在空氣塵埃、擾動浮灰、裁切玻璃粉等污染，造成取到虛假顆粒物樣品，誤導質量分析對策方向和思路。

針對以上的技術問題，實有必要設計一種平板玻璃板微米級顆粒物取樣方法，解決取樣困難的問題。

發明內容

針對現有技術中存在的問題，本發明提供了一種平板玻璃板微米級顆粒物取樣方法，符合平板玻璃板質量評定標準，在實際生產中提供分析平板玻璃板質量可靠的方法和途徑。

本發明是通過以下技術方案來實現：

一種平板玻璃板微米級顆粒物取樣方法，包括以下步驟：

S1、將平板玻璃固定在檢查臺，采用AOI設備檢測平板玻璃上的顆粒物，根據AOI設備檢測的圖像中顆粒物的坐標，在平板玻璃上確定顆粒物的初步位置；

S2、在暗場條件下采用光源傾斜照射所述初步位置，尋找初步位置的顆粒物，所述顆粒物為對比度小于1000的亮點；

S3、對步驟S2中的顆粒物進行位置標定；

S4、將所述步驟S3中的標定的位置進行切割，提取平板玻璃樣品。

進一步，在步驟S1中所述初步位置的確定方法為，采用量具在平板玻璃上確定所述坐標的位置，并以該坐標位置為中心在平板玻璃的表面標定一個直徑為10mm的圓。

進一步，所述光源為15-20K Lux LED燈。

進一步，所述光源傾斜照射的角度為5°～70°。

進一步，在所述步驟S2中進一步移動光源的照射角度，根據顆粒物影子的尺寸以及顆粒物影子與顆粒物是否重合，確定顆粒物位于平板玻璃的下表面或上表面；

若顆粒物影子的尺寸大于顆粒物，且與顆粒物部分重合，則顆粒物接近平板玻璃的下表面；

若顆粒物無影子或影子小于顆粒物且與顆粒物不重合，則顆粒物接近玻璃板上表面。

進一步，在所述步驟S3中，位置標定的方法為以顆粒物為中心標定一個直徑為0.5mm的圓。

進一步，在所述步驟S4中，切割取樣時，直接切割或在平板玻璃的顆粒物位置的兩側貼附PE膜后進行切割。

進一步，所述平板玻璃樣品的尺寸為(20～30)mm×(20～30)mm。

與現有技術相比，本發明具有以下有益的技術效果：