[發(fā)明專利]防黏板結(jié)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711178511.2
• 申請(qǐng)日: 2017-11-23
• 公開（公告）號(hào): CN109828437A
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 江昱蔚;阮文興
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 志圣工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 陳鵬;李靜

一種防黏板結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于曝光裝置，所述防黏板結(jié)構(gòu)用于對(duì)一待曝光件進(jìn)行曝光作業(yè)，防黏板結(jié)構(gòu)包含：抵壓組件、曝光光源及至少一個(gè)吹氣模塊。抵壓組件包含有透光板體，抵壓組件能受控制模塊的控制而選擇性地向承載件靠近或遠(yuǎn)離，承載件用于承載待曝光件。曝光光源設(shè)置于抵壓組件，且曝光光源所產(chǎn)生的光束能穿過透光板體。至少一個(gè)吹氣模塊能受控制模塊控制而選擇性地吹氣。其中，當(dāng)待曝光件貼附于抵壓組件時(shí)，控制模塊能控制吹氣模塊吹氣，以使待曝光件與抵壓組件相互分離。通過所述吹氣模塊與所述抵壓組件的配合，可以有效降低待曝光件在完成曝光作業(yè)后，貼附于抵壓組件上的機(jī)率，以降低因?yàn)榇毓饧N附于抵壓組件上而造成后續(xù)作業(yè)上困難的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種防黏板結(jié)構(gòu)，特別是一種應(yīng)用于電路板曝光裝置的防黏板結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的曝光裝置，在待曝光件完成曝光后，容易因?yàn)楦鞣N原因，而使得待曝光件貼附于曝光裝置上，如此將導(dǎo)致后續(xù)作業(yè)的困難。緣此，本發(fā)明人經(jīng)潛心研究并配合理論的運(yùn)用，而提出一種設(shè)計(jì)合理且有效改進(jìn)上述問題的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于提供一種應(yīng)用于曝光裝置的防黏板結(jié)構(gòu)，用于改進(jìn)現(xiàn)有技術(shù)中，待曝光件在完成曝光后，容易貼附于抵壓組件上，而造成后續(xù)作業(yè)困難的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種防黏板結(jié)構(gòu)，其應(yīng)用于一曝光裝置，所述防黏板結(jié)構(gòu)用于對(duì)一待曝光件進(jìn)行曝光作業(yè)，防黏板結(jié)構(gòu)包含：一抵壓組件、一曝光光源及至少一個(gè)吹氣模塊。抵壓組件包含有一透光板體，抵壓組件能受一控制模塊的控制而選擇性地向一承載件靠近或遠(yuǎn)離，承載件用于承載待曝光件。曝光光源設(shè)置于抵壓組件，且曝光光源所產(chǎn)生的光束能穿過透光板體。至少一個(gè)吹氣模塊能受控制模塊的控制而選擇性地吹氣。其中，當(dāng)待曝光件貼附于抵壓組件時(shí)，控制模塊能控制吹氣模塊吹氣，以使待曝光件與抵壓組件相互分離。

優(yōu)選地，所述防黏板結(jié)構(gòu)還包含有至少一個(gè)頂針組件，該頂針組件包含有一頂針件，所述頂針件能受所述控制模塊的控制而選擇性地凸出于所述透光板體，以抵頂貼附于所述抵壓組件的所述待曝光件。

優(yōu)選地，所述抵壓組件包含有一光罩，所述光罩能拆卸地設(shè)置于所述透光板體，所述光罩具有至少一個(gè)避讓孔，所述頂針組件能通過所述控制模塊能選擇性地穿過所述避讓孔而凸出于所述透光板體及所述光罩，以抵頂貼附于所述光罩的所述待曝光件，而使所述待曝光件與所述光罩相互分離。

優(yōu)選地，所述透光板體具有一穿孔，所述穿孔設(shè)置成貫穿所述透光板體，所述吹氣模塊的一出氣孔與所述穿孔相互連通；其中，所述頂針組件及所述吹氣模塊能受控制而同時(shí)作動(dòng)或先后作動(dòng)，以使所述待曝光件與所述光罩相互分離。

優(yōu)選地，所述吹氣模塊的一側(cè)吹氣孔位于所述透光板體的一側(cè)，當(dāng)所述吹氣模塊受所述控制模塊控制時(shí)，所述吹氣模塊能由所述透光板體的一側(cè)向所述透光板體的表面吹出氣體；其中，所述頂針組件及所述吹氣模塊能受所述控制模塊的控制而同時(shí)作動(dòng)或先后作動(dòng)，以使所述待曝光件與所述抵壓組件相互分離。

優(yōu)選地，所述防黏板結(jié)構(gòu)包含有至少兩個(gè)所述頂針件及兩個(gè)所述側(cè)吹氣孔，兩個(gè)所述側(cè)吹氣孔位于兩個(gè)所述頂針件之間。

優(yōu)選地，所述吹氣模塊包含有一固定結(jié)構(gòu)，所述固定結(jié)構(gòu)固定設(shè)置于所述透光板體的一側(cè)，所述固定結(jié)構(gòu)內(nèi)形成有一氣體通道，所述氣體通道能導(dǎo)引氣體向所述透光板體的表面流動(dòng)。

優(yōu)選地，所述透光板體具有一穿孔，所述穿孔設(shè)置成貫穿所述透光板體，所述防黏板結(jié)構(gòu)包含有至少兩個(gè)所述吹氣模塊，至少一個(gè)所述吹氣模塊定義為一縱向吹氣模塊，至少一個(gè)所述吹氣模塊定義為一橫向吹氣模塊，所述縱向吹氣模塊的一出氣孔與所述穿孔相互連通，所述橫向吹氣模塊包含有所述固定結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述透光板體具有一穿孔，所述穿孔設(shè)置成貫穿所述透光板體，所述吹氣模塊的一出氣孔與所述穿孔相互連通。