[發(fā)明專(zhuān)利]防黏板結(jié)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711178511.2
• 申請(qǐng)日: 2017-11-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109828437A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 江昱蔚;阮文興
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 志圣工業(yè)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 陳鵬;李靜

1.一種防黏板結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述防黏板結(jié)構(gòu)應(yīng)用于一曝光裝置，所述防黏板結(jié)構(gòu)用于對(duì)一待曝光件進(jìn)行曝光作業(yè)，所述防黏板結(jié)構(gòu)包含：

一抵壓組件，包含有一透光板體，所述抵壓組件能受一控制模塊的控制而選擇性地向一承載件靠近或遠(yuǎn)離，所述承載件用于承載所述待曝光件；

一曝光光源，設(shè)置于所述抵壓組件，且所述曝光光源所產(chǎn)生的光束能穿過(guò)所述透光板體；以及

至少一個(gè)吹氣模塊，能受所述控制模塊的控制而選擇性地吹氣；

其中，當(dāng)所述待曝光件貼附于所述抵壓組件時(shí)，所述控制模塊能控制所述吹氣模塊吹氣，以使所述待曝光件與所述抵壓組件相互分離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防黏板結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述防黏板結(jié)構(gòu)還包含有至少一個(gè)頂針組件，所述頂針組件包含有一頂針件，所述頂針件能受所述控制模塊的控制而選擇性地凸出于所述透光板體，

以抵頂貼附于所述抵壓組件的所述待曝光件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防黏板結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述抵壓組件包含有一光罩，所述光罩能拆卸地設(shè)置于所述透光板體，所述光罩具有至少一個(gè)避讓孔，所述頂針組件能通過(guò)所述控制模塊能選擇性地穿過(guò)所述避讓孔而凸出于所述透光板體及所述光罩，以抵頂貼附于所述光罩的所述待曝光件，而使所述待曝光件與所述光罩相互分離。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的防黏板結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述透光板體具有一穿孔，所述穿孔設(shè)置成貫穿所述透光板體，所述吹氣模塊的一出氣孔與所述穿孔相互連通；其中，所述頂針組件及所述吹氣模塊能受控制而同時(shí)作動(dòng)或先后作動(dòng)，以使所述待曝光件與所述光罩相互分離。

5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的防黏板結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述吹氣模塊的一側(cè)吹氣孔位于所述透光板體的一側(cè)，當(dāng)所述吹氣模塊受所述控制模塊控制時(shí)，所述吹氣模塊能由所述透光板體的一側(cè)向所述透光板體的表面吹出氣體；其中，所述頂針組件及所述吹氣模塊能受所述控制模塊的控制而同時(shí)作動(dòng)或先后作動(dòng)，以使所述待曝光件與所述抵壓組件相互分離。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的防黏板結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述防黏板結(jié)構(gòu)包含有至少兩個(gè)所述頂針件及兩個(gè)所述側(cè)吹氣孔，兩個(gè)所述側(cè)吹氣孔位于兩個(gè)所述頂針件之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防黏板結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述吹氣模塊包含有一固定結(jié)構(gòu)，所述固定結(jié)構(gòu)固定設(shè)置于所述透光板體的一側(cè)，

所述固定結(jié)構(gòu)內(nèi)形成有一氣體通道，所述氣體通道能導(dǎo)引氣體向所述透光板體的表面流動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防黏板結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述透光板體具有一穿孔，所述穿孔設(shè)置成貫穿所述透光板體，所述防黏板結(jié)構(gòu)包含有至少兩個(gè)所述吹氣模塊，至少一個(gè)所述吹氣模塊定義為一縱向吹氣模塊，至少一個(gè)所述吹氣模塊定義為一橫向吹氣模塊，所述縱向吹氣模塊的一出氣孔與所述穿孔相互連通，所述橫向吹氣模塊包含有所述固定結(jié)構(gòu)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防黏板結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述透光板體具有一穿孔，所述穿孔設(shè)置成貫穿所述透光板體，所述吹氣模塊的一出氣孔與所述穿孔相互連通。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的防黏板結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述抵壓組件包含有一光罩，所述光罩能拆卸地設(shè)置于所述透光板體，所述光罩具有至少一個(gè)避讓孔，所述避讓孔、所述穿孔及所述出氣孔彼此相互連通；其中，所述吹氣模塊能受所述控制模塊的控制而選擇性地通過(guò)所述出氣孔排出氣體，以使貼附所述光罩的所述待曝光件與所述光罩彼此分離。