[發(fā)明專利]一種太陽能電池的制備方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201711171520.9
• 申請日: 2017-11-22
• 公開（公告）號: CN107731965A
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫興寧
• 申請（專利權(quán)）人: 奕銘（大連）科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 盤錦大工智訊專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙)21244
• 代理人: 徐淑東,崔雪

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種太陽能電池的制備方法。

背景技術(shù)

太陽能是一種最清潔、最普遍和最有潛力的能源。太陽能發(fā)電裝置又稱為太陽能電池或光伏電池，可以將太陽能直接轉(zhuǎn)換成電能，其發(fā)電原理是基于半導(dǎo)體PN結(jié)的光生伏特效應(yīng)。現(xiàn)有技術(shù)中，硅片的類型主要有P型硅片和N型硅片。

晶體硅太陽電池的效率主要取決于三個方面——吸光量，光電量子效率和光電子的收集效率。其中，光電量子效率是描述被太陽電池吸收的光子轉(zhuǎn)換成電子的比率。提高晶體硅太陽電池的效率則必須要同時提高吸光量，光電轉(zhuǎn)換效率和收集效率。絨面制備是降低光的反射率，增大吸光量的有效手段，消除PN結(jié)的復(fù)合中心能夠有效提高光電量子效率，而晶體硅電池的缺陷、雜質(zhì)、電阻率和PN結(jié)的特性等對光電子收集效率有重要影響。

目前，太陽能電池制作工藝比較復(fù)雜，增加了太陽能電池的制作成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提出一種太陽能電池的制備方法，以提高太陽能電池的發(fā)電效率，降低生產(chǎn)成本。

本發(fā)明提供了一種太陽能電池的制備方法，所述方法包括以下過程：

(1)對硅片進行清洗、去損和制絨工藝；

(2)對硅片的背光面進行拋光處理，對的硅片的受光面進行離子注入；

(3)對硅片的背光面進行硼擴散；所述硼擴散采用三溴化硼液態(tài)源擴散法，先在900-1000℃下通氧沉積三溴化硼20-60分鐘，之后不通源在氧氣氛下推進10-60分鐘，然后降溫到800-900℃氧化至少30分鐘，在硅片的背光面生長氧化層；所述氧化層的厚度至少為20納米；

(4)在硅片的背光面形成鈍化層，在硅片的受光面形成減反膜；

(5)在硅片的背光面印刷鋁電極，在受光面印刷銀電極；將所述鋁電極和銀電極進行共燒結(jié)，以形成金屬化接觸。

進一步的，所述硅片包括單晶硅片和多晶硅片。

進一步的，所述在硅片的背光面形成鈍化層，在硅片的受光面形成減反膜，包括：

在硅片的表面形成氧化硅鈍化層；

在硅片的背光面形成氧化鋁鈍化層；

在硅片的背光面形成氮化硅鈍化層；

在硅片的受光面形成氮化硅減反膜。

進一步的，所述離子注入的元素為磷元素。

本發(fā)明提出了一種太陽能電池的制備方法，與現(xiàn)有工藝相比，本發(fā)明的制備方法工藝得到了極大簡化，且高溫過程只有兩步，因而電池制備成本低且效率更高；大大簡化了工藝步驟；本發(fā)明的制備方法簡單易行，成本較低，適于推廣應(yīng)用。

具體實施方式

為使本發(fā)明解決的技術(shù)問題、采用的技術(shù)方案和達到的技術(shù)效果更加清楚，下面結(jié)合實施例對本發(fā)明作進一步的詳細說明。可以理解的是，此處所描述的具體實施例僅僅用于解釋本發(fā)明，而非對本發(fā)明的限定。

本發(fā)明提供了一種太陽能電池的制備方法，所述方法包括以下過程：

(1)對硅片進行清洗、去損和制絨工藝；

(2)對硅片的背光面進行拋光處理，對的硅片的受光面進行離子注入；

(3)對硅片的背光面進行硼擴散；所述硼擴散采用三溴化硼液態(tài)源擴散法，先在900-1000℃下通氧沉積三溴化硼20-60分鐘，之后不通源在氧氣氛下推進10-60分鐘，然后降溫到800-900℃氧化至少30分鐘，在硅片的背光面生長氧化層；所述氧化層的厚度至少為20納米；

(4)在硅片的背光面形成鈍化層，在硅片的受光面形成減反膜；

(5)在硅片的背光面印刷鋁電極，在受光面印刷銀電極；將所述鋁電極和銀電極進行共燒結(jié)，以形成金屬化接觸。

進一步的，所述硅片包括單晶硅片和多晶硅片。

進一步的，所述在硅片的背光面形成鈍化層，在硅片的受光面形成減反膜，包括：

在硅片的表面形成氧化硅鈍化層；

在硅片的背光面形成氧化鋁鈍化層；

在硅片的背光面形成氮化硅鈍化層；

在硅片的受光面形成氮化硅減反膜。

進一步的，所述離子注入的元素為磷元素。

本發(fā)明一種太陽能電池的制備方法，與現(xiàn)有工藝相比，制備工藝得到了極大簡化，且高溫過程只有兩步，因而電池制備成本低且效率更高；大大簡化了工藝步驟；本發(fā)明的制備方法簡單易行，成本較低，適于推廣應(yīng)用。

最后應(yīng)說明的是：以上各實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述各實施例對本發(fā)明進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分或者全部技術(shù)特征進行等同替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實施例技術(shù)方案的范圍。