[發明專利]用于沉積的掩模、制造掩模的方法及制造顯示裝置的方法

有效

• 申請號: 201711170669.5
• 申請日: 2017-11-22
• 公開（公告）號: CN108103437B
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 金楨國;文敏浩;文英慜
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;劉錚

公開了用于沉積的掩模、制造用于沉積的掩模的方法以及制造顯示裝置的方法，用于沉積的掩模能夠通過在第一方向上施加到掩模的相對端的張力而聯接到框架，并且包括具有第一厚度的第一肋部以及包括多個圖案孔和至少一個蝕刻部的圖案部，沉積材料能夠傳輸經過所述多個圖案孔，所述至少一個蝕刻部具有小于第一厚度的第二厚度并且連接在多個圖案孔中的一部分之間。

相關申請的交叉引用

于2016年11月25日在韓國知識產權局提交的且名稱為“用于沉積的掩模、制造掩模的方法及制造顯示裝置的方法”的第10-2016-0158055號韓國專利申請通過引用以其整體并入本文中。

技術領域

實施方式涉及用于沉積的掩模、制造該掩模的方法及制造顯示裝置的方法。

背景技術

移動電子設備被廣泛使用。近來，對于移動電子設備，除了諸如移動電話的小型化電子設備之外，平板電腦(PC)被廣泛使用。

為了支持各種功能，移動電子設備包括用于向用戶提供視覺信息(諸如，圖像)的顯示裝置。

在本背景技術部分中公開的信息是在實現本公開之前發明人已知的，或者是在實現本公開的過程中獲取的技術信息。因此，它可以包含不形成本國公眾已知的現有技術的信息。

發明內容

實施方式可以通過提供用于沉積的掩模實現，所述掩模能夠通過在第一方向上施加到所述掩模的相對端的張力而聯接到框架，所述掩模包括具有第一厚度的第一肋部以及包括多個圖案孔和至少一個蝕刻部的圖案部，沉積材料能夠傳輸經過所述多個圖案孔，所述至少一個蝕刻部具有小于第一厚度的第二厚度并且連接在所述多個圖案孔中的一部分之間。

圖案部還可以包括具有比第二厚度小的第三厚度的至少一個圖案凹部。

所述至少一個圖案凹部可以包括多個圖案凹部，以及所述多個圖案凹部可以以菱形形狀設置。

所述至少一個圖案凹部可以包括多個圖案凹部，以及每個圖案孔可以位于所述多個圖案凹部之中的相鄰圖案凹部之間。

所述多個圖案孔中的一部分可以以菱形形狀設置。

所述至少一個蝕刻部可以包括多個蝕刻部，以及所述多個蝕刻部可以在第一方向上彼此間隔開。

所述至少一個蝕刻部可以包括沿著第一方向延伸的多個蝕刻部，以及所述多個蝕刻部可以在與第一方向交叉的第二方向上彼此間隔開。

所述至少一個蝕刻部可以包括沿著第一方向延伸的第一蝕刻部以及沿著與第一方向交叉的第二方向延伸的第二蝕刻部。

第一蝕刻部可以與第二蝕刻部交叉。

所述至少一個蝕刻部可以具有沿著第一方向或與第一方向交叉的第二方向延伸的之字形形狀。

所述多個圖案孔可以設置在之字形形狀的頂點處。

圖案部可以具有等于或小于第一厚度的厚度。

圖案部可以包括位于除了圖案孔和蝕刻部之外的區域中的第二肋部，第二肋部具有比所述至少一個蝕刻部的第二厚度大的厚度。

實施方式可以通過提供制造用于沉積的掩模的方法實現，所述掩模包括第一肋部和圖案部，所述掩模能夠通過在第一方向上施加到所述掩模的相對端的張力而聯接到框架，所述方法包括：使第一激光束照射圖案部的一部分并形成被第一激光束蝕刻的至少一個蝕刻部；以及使第二激光束照射至少一個蝕刻部的一部分并形成多個圖案孔，沉積材料能夠傳輸經過所述多個圖案孔。

第一肋部可以具有第一厚度，以及所述至少一個蝕刻部可以具有小于第一厚度的第二厚度。

可以使第一激光束在第一方向或與第一方向交叉的第二方向上沿著之字形路徑照射。