[發(fā)明專(zhuān)利]運(yùn)用載具采逐片連續(xù)生產(chǎn)的化學(xué)沉積方法及設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711169294.0
• 申請(qǐng)日: 2017-11-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109778151B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃信翔;黃信航;傅新民
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 黃信翔;黃信航
• 主分類(lèi)號(hào): C23C18/16
• 分類(lèi)號(hào): C23C18/16
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;安利霞

1.一種運(yùn)用載具采逐片連續(xù)生產(chǎn)的化學(xué)沉積方法，其步驟包括：

使用載具將至少一電路板采直立式承載著；

該載具將該電路板移入沉積反應(yīng)槽內(nèi)進(jìn)行化學(xué)沉積反應(yīng)，該沉積反應(yīng)槽內(nèi)依序設(shè)有初始位置、多個(gè)中繼位置、以及最終位置；

由移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)該載具依序由該初始位置、多個(gè)該中繼位置、移動(dòng)至該最終位置，利用該電路板在該沉積反應(yīng)槽內(nèi)等留預(yù)定時(shí)間，完成該沉積反應(yīng)槽內(nèi)金屬沉積于該電路板的作業(yè)；

其中該移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)該載具移動(dòng)至兩相鄰位置時(shí)，由前一級(jí)位置的最底點(diǎn)移動(dòng)至最高點(diǎn)后，再垂直掉落于次一級(jí)位置，前述兩相鄰位置包括由該初始位置與該中繼位置、兩相鄰的該中繼位置、以及該中繼位置與該最終位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的運(yùn)用載具采逐片連續(xù)生產(chǎn)的化學(xué)沉積方法，其中該沉積反應(yīng)槽在兩個(gè)槽壁頂面分別設(shè)有一排位置相對(duì)的齒條，該齒條是由多個(gè)單向斜齒所構(gòu)成，該載具頂部具有一橫桿，該橫桿兩端分別位于相對(duì)位置的兩個(gè)該單向斜齒內(nèi)，多個(gè)該單向斜齒的所在位置即為包括該沉積反應(yīng)槽的該初始位置、多個(gè)該中繼位置、以及該最終位置。

3.一種運(yùn)用載具采逐片連續(xù)生產(chǎn)的化學(xué)沉積設(shè)備，包括：

一沉積反應(yīng)槽，在兩個(gè)相對(duì)槽壁頂面各設(shè)有一排位置相對(duì)的齒條，該齒條是由多個(gè)單向斜齒所構(gòu)成；

多個(gè)載具，包括一橫桿及兩承架，該兩承架呈對(duì)稱(chēng)狀固定于該橫桿，該兩承架于另一側(cè)具有開(kāi)口，該開(kāi)口供放入電路板，該載具是由該橫桿兩側(cè)架設(shè)于位置相對(duì)的兩個(gè)該單向斜齒內(nèi)；

一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，安裝于該沉積反應(yīng)槽外壁，負(fù)責(zé)帶動(dòng)兩組撥動(dòng)機(jī)構(gòu)同步產(chǎn)生往復(fù)移動(dòng)，且每次僅移動(dòng)一個(gè)該單向斜齒的距離；

兩組撥動(dòng)機(jī)構(gòu)，每一組該撥動(dòng)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)可被轉(zhuǎn)動(dòng)的撥動(dòng)件，該橫桿的兩側(cè)位置分別有一個(gè)該撥動(dòng)件與之對(duì)應(yīng)，當(dāng)該移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)該撥動(dòng)機(jī)構(gòu)向前移動(dòng)時(shí)，該撥動(dòng)件會(huì)推動(dòng)該橫桿沿著該單向斜齒的斜面緩慢上升至最高點(diǎn)后，掉落下一級(jí)的該單向斜齒內(nèi)，當(dāng)該移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)該撥動(dòng)機(jī)構(gòu)向后移動(dòng)時(shí)，該撥動(dòng)件可被旋轉(zhuǎn)而解除與該橫桿接觸的狀態(tài)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的運(yùn)用載具采逐片連續(xù)生產(chǎn)的化學(xué)沉積設(shè)備，其中該載具進(jìn)一步包括多個(gè)連接桿，該連接桿采橫向結(jié)合于兩該承架之間，以維持整體的剛性。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的運(yùn)用載具采逐片連續(xù)生產(chǎn)的化學(xué)沉積設(shè)備，其中該載具進(jìn)一步包括一保持桿，該保持桿結(jié)合于該兩承架的最底部位置，該保持桿兩端各設(shè)有垂直狀的保持片，兩個(gè)該保持片之間的距離，恰好為該電路板最大尺寸的寬度。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的運(yùn)用載具采逐片連續(xù)生產(chǎn)的化學(xué)沉積設(shè)備，其中該移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一軌道架、一框架及一第一動(dòng)力件，該軌道架設(shè)有兩組軌道分別固定于該沉積反應(yīng)槽兩側(cè)外壁，該框架套置于該沉積反應(yīng)槽外圍，底部設(shè)有多個(gè)導(dǎo)輪能在該軌道上運(yùn)行，該第一動(dòng)力件與該框架及該軌道架作連接，負(fù)責(zé)帶動(dòng)該框架產(chǎn)生線(xiàn)性的往復(fù)移動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的運(yùn)用載具采逐片連續(xù)生產(chǎn)的化學(xué)沉積設(shè)備，其中該第一動(dòng)力件為氣壓缸、油壓缸、電動(dòng)伸縮桿的其中一種機(jī)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的運(yùn)用載具采逐片連續(xù)生產(chǎn)的化學(xué)沉積設(shè)備，其中兩個(gè)該撥動(dòng)機(jī)構(gòu)該分別安裝于該框架兩側(cè)外壁，該撥動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括連動(dòng)片、第二動(dòng)力件，每個(gè)該撥動(dòng)件具有上樞接點(diǎn)及下樞接點(diǎn)，該上樞接點(diǎn)安裝樞接于該框架，該下樞接點(diǎn)安裝樞接于該連動(dòng)片，該連動(dòng)片受該第二動(dòng)力件驅(qū)動(dòng)而能產(chǎn)生往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的運(yùn)用載具采逐片連續(xù)生產(chǎn)的化學(xué)沉積設(shè)備，其中該第二動(dòng)力件為氣壓缸、油壓缸、電動(dòng)伸縮桿的其中一種機(jī)構(gòu)。