[發明專利]硅片水下自動取片插片機在審
| 申請號: | 201711164179.4 | 申請日: | 2017-11-21 |
| 公開(公告)號: | CN107946212A | 公開(公告)日: | 2018-04-20 |
| 發明(設計)人: | 陳五奎;劉強;馮加保 | 申請(專利權)人: | 樂山新天源太陽能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 成都點睛專利代理事務所(普通合伙)51232 | 代理人: | 李玉興 |
| 地址: | 614000 四川*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 硅片 水下 自動 取片插片機 | ||
1.硅片水下自動取片插片機,其特征在于:包括機架(1),所述機架(1)上設置有安裝平臺(2),所述安裝平臺(2)上設置有相互平行的花籃傳送帶(4)和硅片傳送帶(5);所述機架(1)的一端設置有清洗箱(7),另一端設置有豎向安裝支架(3);所述清洗箱(7)內設置有將硅片輸送至硅片傳送帶(5)的硅片上料裝置(6);
所述豎向安裝支架(3)上設置有橫向滑動裝置(31),所述橫向滑動裝置(31)上連接有豎向的花籃夾爪(8),所述花籃夾爪(8)通過升降裝置(9)與橫向滑動裝置(31)連接;
所述安裝平臺(2)位于豎向安裝支架(3)的一端設置有通孔(21);所述通孔(21)位于花籃夾爪(8)正下方,且位于硅片傳送帶(5)的一端;所述通孔(21)與花籃夾爪(8)匹配;
所述硅片上料裝置(6)包括支撐座(68),所述支撐座(68)上設置有硅片輸送帶(61)以及安裝支架(69);所述硅片輸送帶(61)傾斜設置;所述安裝支架(69)位于硅片輸送帶(61)的一端;所述安裝支架(69)上設置有與硅片輸送帶(62)平行的固定板(62);所述固定板(62)延伸出硅片輸送帶(61);所述固定板(62)一端設置有液壓泵驅動的第一滾輪(65)、另一端設置有液壓泵驅動的第二滾輪(64);所述第一滾輪(65)與第二滾輪(64)之間設置有傳送皮帶;所述固定板(62)的中間位置設置有吸盤(63);所述固定板(62)下方設置硅片裝料框(66);所述硅片裝料框(66)前端設置有支持板,所述支撐板的兩側中至少一側設置有噴頭(612);所述噴頭(612)的噴射中心位于硅片輸送帶(61)上表面的長度延長線上;
所述硅片裝料框(66)底面的靠近硅片輸送帶(61)的一端設置有沿硅片裝料框(66)長度方向延伸的滑槽(661);所述支撐座(68)下方設置有頂升裝置(67),所述頂升裝置(67)具有頂桿(610),所述頂桿(610)穿過支撐座(68)延伸到滑槽(661)內;所述硅片輸送帶(61)的一端與硅片傳動帶(31)的一端對齊。
2.如權利要求1所述的硅片水下自動取片插片機,其特征在于:所述花籃傳送帶(4)具有兩條,且分別位于硅片傳送帶(5)的兩側。
3.如權利要求2所述的硅片水下自動取片插片機,其特征在于:所述橫向滑動裝置(31)采用滑臺。
4.如權利要求3所述的硅片水下自動取片插片機,其特征在于:所述吸盤(63)具有兩個。
5.如權利要求4所述的硅片水下自動取片插片機,其特征在于:所述支撐座(68)上設置有輸送硅片裝料框(66)的料框輸送帶,所述硅片裝料框(66)位于料框輸送帶上。
6.如權利要求5所述的硅片水下自動取片插片機,其特征在于:所述頂升裝置(67)采用液壓缸。
7.如權利要求6所述的硅片水下自動取片插片機,其特征在于:所述硅片輸送帶(61)采用皮帶輸送機。
8.如權利要求7所述的硅片水下自動取片插片機,其特征在于:所述硅片輸送帶(61)包括兩條平行的皮帶輸送帶,所述兩條平行的皮帶輸送帶之間設置有硅片吸附裝置(611)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





