[發(fā)明專利]適用于數(shù)模混合電路在片測試的探卡及設(shè)計制作方法

有效

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• 申請日: 2017-11-20
• 公開（公告）號: CN108037331B
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陸海燕
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團公司第五十五研究所
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 南京君陶專利商標代理有限公司 32215
• 代理人: 沈根水

本發(fā)明是適用于數(shù)模混合電路在片測試探卡及設(shè)計制作方法，其結(jié)構(gòu)包括PCB基板，陶瓷，環(huán)氧部分、各類探針和SMA接線柱；其中陶瓷，環(huán)氧部分、各類探針粘連在PCB基板上，所述的各類探針包括微波探針、直流探針、接地探針，并由微波探針、直流探針、接地探針構(gòu)成具有規(guī)則傾斜的探針的探測卡來接觸晶圓上的待測電路；SMA接線柱上的SMA接頭連接微波探針。優(yōu)點：1）實現(xiàn)了在一塊探卡上直接傳輸多路微波信號及直流信號；2）實現(xiàn)了晶圓級數(shù)模混合電路的在片篩測，不僅提高了測試效率；同時監(jiān)控芯片在晶圓上的各區(qū)域成品率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種適用于數(shù)模混合電路在片測試探卡及設(shè)計制作方法，屬于超高速芯片的測試領(lǐng)域。

背景技術(shù)

伴隨著電子技術(shù)突飛猛進地發(fā)展，各種電子干擾技術(shù)使雷達、通信的可靠運行面臨高度挑戰(zhàn)。跳頻通信具有較強的抗干擾、抗多徑衰落、抗截獲等能力，已廣泛應(yīng)用于軍事、交通、商業(yè)等各個領(lǐng)域。頻率合成器是跳頻系統(tǒng)的心臟，頻率合成器的性能直接決定跳頻信號的穩(wěn)定性和產(chǎn)生頻率的準確度。DDS是近年來迅速發(fā)展起來的一種新的頻率合成方法，該方法簡單可靠、控制方便，且具有很高的頻率分辨率和轉(zhuǎn)換速度。由于DDS裝架測試工藝復雜且效率低下，本發(fā)明提出一種適用于數(shù)模混合電路在片測試的探卡的設(shè)計及制作方法使數(shù)模混合電路的在片篩測成為可能，該探卡是實現(xiàn)數(shù)模混合電路在片測試的關(guān)鍵技術(shù)。利用該探卡搭建的在片測試系統(tǒng)可進行數(shù)模混合芯片的在片篩測，大大提升數(shù)模混合電路測試效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提出的是一種適用于數(shù)模混合電路在片測試探卡及設(shè)計制作方法，其目的旨在設(shè)計并制作一種用于數(shù)模混合電路測試的探卡，使在片的數(shù)模混合電路測試成為可能，不僅可以避免裝架測試效率低下的問題，還可以實現(xiàn)晶圓級的在片篩測，根據(jù)整個晶圓的測試結(jié)果分析電路的成品分布，更進一步反饋制作電路及器件的成品率問題，并對制作工藝進行批次間的標定與監(jiān)控。

本發(fā)明的技術(shù)解決方案：適用于數(shù)模混合電路在片測試的探卡，其結(jié)構(gòu)包括PCB基板，陶瓷，環(huán)氧部分、各類探針和SMA接線柱；其中陶瓷，環(huán)氧部分、各類探針粘連在 PCB基板上，所述的各類探針包括微波探針、直流探針、接地探針，并由微波探針、直流探針、接地探針構(gòu)成具有規(guī)則傾斜的探針的探測卡來接觸晶圓上的待測電路；SMA接線柱上的SMA接頭連接微波探針。

本發(fā)明的優(yōu)點：

1）實現(xiàn)了在一塊探卡上多路微波信號及直流信號的傳輸；

2）探卡可應(yīng)用于晶圓級數(shù)模混合電路的在片篩測，不僅提高了測試效率；同時監(jiān)控芯片在晶圓上的各區(qū)域成品率；

3）同軸針的使用可以使相應(yīng)傳輸?shù)奈⒉ㄐ盘柮馐芨蓴_；

4）可盡量保證微波信號免受干擾；

5）可通過調(diào)節(jié)陶瓷片厚度及角度來控制探針角度及與待測件間的距離，并起到抑制噪聲的作用；

6）可方便探卡角度作一些微調(diào)。

附圖說明

附圖1數(shù)模混合信號測試用探卡示意圖。

附圖2數(shù)模混合信號測試探卡側(cè)視圖。

附圖3 同軸針示意圖。

具體實施方式

如附圖1所示，適用于數(shù)模混合電路在片測試探卡，其結(jié)構(gòu)包括PCB基板，陶瓷，環(huán)氧部分、各類探針和SMA接線柱；其中陶瓷，環(huán)氧部分、各類探針粘連在 PCB基板上，所述的各類探針包括微波探針、直流探針、接地探針，并由微波探針、直流探針、接地探針構(gòu)成具有規(guī)則傾斜的探針的探測卡來接觸晶圓上的待測電路；SMA接線柱上的SMA接頭連接微波探針。

下面結(jié)合如圖2、3，給出設(shè)計制作適用于數(shù)模混合電路在片測試探卡的方法：