[發明專利]適用于數模混合電路在片測試的探卡及設計制作方法

有效

• 申請號: 201711156672.1
• 申請日: 2017-11-20
• 公開（公告）號: CN108037331B
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 陸海燕
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第五十五研究所
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 南京君陶專利商標代理有限公司 32215
• 代理人: 沈根水

1.適用于數模混合電路在片測試探卡，包括PCB基板，陶瓷，環氧部分、各類探針和SMA接線柱；其中陶瓷，環氧部分、各類探針粘連在 PCB基板上，所述的各類探針包括微波探針、直流探針、接地探針，并由微波探針、直流探針、接地探針構成具有規則傾斜的探針的探測卡來接觸晶圓上的待測電路；SMA接線柱上的SMA接頭連接微波探針；

所述的適用于數模混合電路在片測試探卡的設計制作的方法，其特征是包括如下步驟：

1）在PCB基板上粘連陶瓷、環氧部分和微波探針、直流探針、接地探針，由微波探針、直流探針、接地探針構成了具有規則傾斜的探針的探測卡來接觸晶圓上的待測電路；

2）在 PCB板上先連接陶瓷片再連接環氧部分，其中間通過調節陶瓷片厚度及角度來控制探針角度及與待測件間的距離，同時起到抑制系統噪聲的作用；

3）將傳輸微波信號的探針連接SMA接頭從而連接微波電纜傳輸微波信號；同時將傳輸直流信號的探針對地并聯相應容值的貼片電容，起到防止自激得作用，直流探針用一根線引出以方便加電；

4）將接地探針與PCB接地部分短接,以保證探卡的接地性能；

5）取現有探針，在其外包裹一層絕緣層，外邊再包裹一層金屬層以用于接地，作為微波針的同軸針，在針尖處將原探針針尖露出以方便扎針，該同軸針的使用使相應傳輸的微波信號免受干擾；

6）SMA接線柱的連接處接地，盡量保證微波信號免受干擾；

7）SMA接線柱位置，其相臨的兩個接線柱的相距距離要大于相應的微波測試電纜的直徑距離，用錯位的方法排布SMA接線柱，克服探卡位置的局限性；

8）在探卡上設置定位孔，其定位孔的直徑略大于探針座定位孔直徑，以方便探卡角度作一些微調；

9）探針座定位孔數量為3個，而探卡的定位孔為4個，有利于調整探卡的橫向位置。

2.如權利要求1所述的適用于數模混合電路在片測試探卡，特征是其使用方法包括如下步驟：

1）探針進行測試時，在一塊探卡上同時實現多路直流與微波信號的傳輸；

2）根據待測芯片管腳分布進行安排調整探針分布；

3）應用于晶圓級在片數模混合電路的在片篩測。