[發(fā)明專(zhuān)利]一種涂膠機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711155775.6
• 申請(qǐng)日: 2017-11-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109807003A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋雙
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B05B13/02
• 分類(lèi)號(hào): B05B13/02
• 代理公司: 沈陽(yáng)科苑專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制程中噴膠技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種涂膠機(jī)。包括涂膠平臺(tái)、二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、噴嘴I、吊臂、噴嘴II、盤(pán)體I及盤(pán)體II，其中二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、盤(pán)體I及盤(pán)體II均設(shè)置于涂膠平臺(tái)上，吊臂設(shè)置于二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上、并且兩端分別與噴嘴I和噴嘴II連接，噴嘴I和噴嘴II分別與盤(pán)體I和盤(pán)體II相對(duì)應(yīng)。本發(fā)明通過(guò)吊臂連接兩個(gè)噴嘴，兩個(gè)噴嘴分別對(duì)應(yīng)兩個(gè)盤(pán)體，當(dāng)兩盤(pán)體均被放置晶圓后即可開(kāi)始作業(yè)，滿足同時(shí)噴涂?jī)善A的需要，提高產(chǎn)能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制程中噴膠技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種涂膠機(jī)。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)的涂膠機(jī)設(shè)備，其單元內(nèi)基本上是一套組合電缸帶動(dòng)一個(gè)噴嘴對(duì)一片晶圓進(jìn)行噴涂，由于每片晶圓至少噴涂完全四次，而每次至少四分鐘，因此現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的涂膠機(jī)設(shè)備生產(chǎn)效率比較低。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)上述，本發(fā)明的目的在于提供一種涂膠機(jī)，以解決現(xiàn)有涂膠機(jī)生產(chǎn)效率比較低的問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種涂膠機(jī)，包括涂膠平臺(tái)、二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、噴嘴I、吊臂、噴嘴II、盤(pán)體I及盤(pán)體II，其中二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、盤(pán)體I及盤(pán)體II均設(shè)置于涂膠平臺(tái)上，所述吊臂設(shè)置于所述二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上、并且兩端分別與噴嘴I和噴嘴II連接，所述噴嘴I和所述噴嘴II分別與所述盤(pán)體I和所述盤(pán)體II相對(duì)應(yīng)。

所述噴嘴I和所述噴嘴II之間的距離與所述盤(pán)體I和所述盤(pán)體II之間的中心距離相等。

所述二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)為組合電缸，所述組合電缸包括X軸電缸和Y軸電缸，其中X軸電缸設(shè)置于所述涂膠平臺(tái)上，所述Y軸電缸設(shè)置于所述X軸電缸上，所述吊臂設(shè)置于所述Y軸電缸上、并且通過(guò)所述X軸電缸和所述Y軸電缸的驅(qū)動(dòng)可沿X、Y方向運(yùn)動(dòng)。

所述吊臂為橫跨在所述Y軸電缸上的“門(mén)”型結(jié)構(gòu)，所述噴嘴I和所述噴嘴II分別連接在所述吊臂的下端兩側(cè)。

所述吊臂的一側(cè)豎直邊框通過(guò)連接塊與所述Y軸電缸的執(zhí)行端連接。

所述連接塊與所述吊臂的一側(cè)豎直邊框的連接高度可調(diào)整。

所述吊臂的一側(cè)豎直邊框上設(shè)有用于調(diào)整所述連接塊高度的刻度線。

所述盤(pán)體I和盤(pán)體II位于所述二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的同側(cè)。

所述盤(pán)體I和盤(pán)體II均為圓形結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是：本發(fā)明提高了涂膠機(jī)的產(chǎn)能，在設(shè)備的同配置的條件下，通過(guò)吊臂連接兩個(gè)噴嘴，兩個(gè)噴嘴分別對(duì)應(yīng)兩個(gè)盤(pán)體，當(dāng)兩盤(pán)體均被放置晶圓后即可開(kāi)始作業(yè)，滿足同時(shí)噴涂?jī)善A的需要，提高產(chǎn)能。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的軸測(cè)圖；

圖2是圖1中I處放大圖；

圖3是本發(fā)明的俯視圖。

圖中：1為涂膠平臺(tái)，2為組合電缸，21為X軸電缸，22為Y軸電缸，3為噴嘴I，4為吊臂，5為噴嘴II，6為盤(pán)體II，7為盤(pán)體I，8為連接塊，9為刻度線。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。

如圖1、圖3所示，本發(fā)明提供的一種涂膠機(jī)，其特征在于，包括涂膠平臺(tái)1、二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、噴嘴I3、吊臂4、噴嘴II5、盤(pán)體I7及盤(pán)體II6，其中二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、盤(pán)體I7及盤(pán)體II6均設(shè)置于涂膠平臺(tái)1上，吊臂4設(shè)置于二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上、并且兩端分別與噴嘴I3和噴嘴II5連接，噴嘴I3和噴嘴II5分別與盤(pán)體I7和盤(pán)體II6相對(duì)應(yīng)。

進(jìn)一步地，噴嘴I3和噴嘴II5之間的距離與盤(pán)體I7和盤(pán)體II6之間的中心距離相等。