[發明專利]一種涂膠機在審
| 申請號: | 201711155775.6 | 申請日: | 2017-11-20 |
| 公開(公告)號: | CN109807003A | 公開(公告)日: | 2019-05-28 |
| 發明(設計)人: | 宋雙 | 申請(專利權)人: | 沈陽芯源微電子設備股份有限公司 |
| 主分類號: | B05B13/02 | 分類號: | B05B13/02 |
| 代理公司: | 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002 | 代理人: | 何麗英 |
| 地址: | 110168 遼*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 噴嘴 盤體 二維運動平臺 吊臂 涂膠平臺 涂膠機 半導體制程 產能 晶圓 噴膠 噴涂 片晶 | ||
1.一種涂膠機,其特征在于,包括涂膠平臺(1)、二維運動平臺、噴嘴I(3)、吊臂(4)、噴嘴II(5)、盤體I(7)及盤體II(6),其中二維運動平臺、盤體I(7)及盤體II(6)均設置于涂膠平臺(1)上,所述吊臂(4)設置于所述二維運動平臺上、并且兩端分別與噴嘴I(3)和噴嘴II(5)連接,所述噴嘴I(3)和所述噴嘴II(5)分別與所述盤體I(7)和所述盤體II(6)相對應。
2.根據權利要求1所述的涂膠機,其特征在于,所述噴嘴I(3)和所述噴嘴II(5)之間的距離與所述盤體I(7)和所述盤體II(6)之間的中心距離相等。
3.根據權利要求1或2所述的涂膠機,其特征在于,所述二維運動平臺為組合電缸(2),所述組合電缸(2)包括X軸電缸(21)和Y軸電缸(22),其中X軸電缸(21)設置于所述涂膠平臺(1)上,所述Y軸電缸(22)設置于所述X軸電缸(21)上,所述吊臂(4)設置于所述Y軸電缸(22)上、并且通過所述X軸電缸(21)和所述Y軸電缸(22)的驅動可沿X、Y方向運動。
4.根據權利要求3所述的涂膠機,其特征在于,所述吊臂(4)為橫跨在所述Y軸電缸(22)上的“門”型結構,所述噴嘴I(3)和所述噴嘴II(5)分別連接在所述吊臂(4)的下端兩側。
5.根據權利要求4所述的涂膠機,其特征在于,所述吊臂(4)的一側豎直邊框通過連接塊(8)與所述Y軸電缸(22)的執行端連接。
6.根據權利要求5所述的涂膠機,其特征在于,所述連接塊(8)與所述吊臂(4)的一側豎直邊框的連接高度可調整。
7.根據權利要求6所述的涂膠機,其特征在于,所述吊臂(4)的一側豎直邊框上設有用于調整所述連接塊(8)高度的刻度線(9)。
8.根據權利要求1所述的涂膠機,其特征在于,所述盤體I(7)和盤體II(6)位于所述二維運動平臺的同側。
9.根據權利要求1所述的涂膠機,其特征在于,所述盤體I(7)和盤體II(6)均為圓形結構。
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