[發明專利]基于β-Ga2 有效
| 申請號： | 201711152968.6 | 申請日： | 2017-11-17 |
| 公開（公告）號： | CN108007977B | 公開（公告）日： | 2020-06-02 |
| 發明（設計）人： | 張香麗 | 申請（專利權）人： | 張香麗 |
| 主分類號： | G01N27/12 | 分類號： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 322207 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 ga base sub | ||
本發明涉及基于β?Ga2O3/CuGa2O4/[HONH3]PbI3異質結的氣敏傳感器及其制備方法，包括金叉指電極，ITO透明導電玻璃，位于ITO透明導電玻璃上的β?Ga2O3薄膜，位于β?Ga2O3薄膜上方的β?Ga2O3/CuGa2O4異質結納米墻陣列和[HONH3]PbI3薄膜；所述β?Ga2O3/CuGa2O4異質結納米墻陣列間隔嵌于[HONH3]PbI3薄膜，所述金叉指電極位于[HONH3]PbI3薄膜上方和位于ITO透明導電玻璃上方，位于[HONH3]PbI3薄膜上方的金叉指電極和位于β?Ga2O3薄膜上方的β?Ga2O3/CuGa2O4異質結納米墻陣列間隔排列，且金叉指電極的頂端低于β?Ga2O3/CuGa2O4異質結納米墻陣列頂端。本發明的氣敏傳感器件，具有三維空間多相異質結界面結構，相互之間具有協同作用，氣敏特性穩定，具有自供電、零功耗，無需加熱，在室溫下即可測VOC氣體，在室內甲醛氣體、糖尿病患者丙酮含量以及酒駕的檢測等領域具有很大的應用前景。
技術領域
本發明屬于氣敏傳感領域，具體涉及一種基于β-Ga2O3/CuGa2O4/ [HONH3]PbI3異質結的氣敏傳感器及其制備方法。
技術背景
隨著科技的快速發展及人們生活品質的不斷提高，安全與健康開始受到人們的高度關注，氣體傳感器可以實時監測環境污染和人類的身體健康，高靈敏度、節能、低成本的氣體傳感器將具有很廣闊的市場。目前檢測有機化合物(Volatile OrganicCompounds,VOC)的氣體傳感器主要有基于電化學原理的氣體傳感器和基于金屬氧化物半導體的氣體傳感器，但電化學氣體傳感器成本高、壽命短，而傳統金屬氧化物半導體氣體傳感器檢測精度不高、靈敏度低。
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