[發明專利]物理氣相沉積設備和物理氣相沉積方法在審
| 申請號： | 201711146898.3 | 申請日： | 2017-11-17 |
| 公開（公告）號： | CN107723675A | 公開（公告）日： | 2018-02-23 |
| 發明（設計）人： | 李揚德;盧昆;高寬 | 申請（專利權）人： | 東莞顛覆產品設計有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/50 | 分類號： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 廣州市越秀區哲力專利商標事務所(普通合伙)44288 | 代理人： | 羅偉添,秦維 |
| 地址： | 523000 廣東省東莞市松山湖高*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 物理 沉積 設備 方法 | ||
1.一種物理氣相沉積設備，其特征在于，所述物理氣相沉積設備包括殼體、發射源、承載裝置和動力裝置，其中，所述殼體的內部形成真空鍍膜室，所述發射源、承載裝置和動力裝置位于所述真空鍍膜室內，所述動力裝置連接至所述承載裝置以使位于所述承載裝置上的待鍍膜產品產生上下振動、由里向外的翻轉以及沿預定方向的旋轉。
2.根據權利要求1所述的物理氣相沉積設備，其特征在于，所述動力裝置為振動式動力裝置、電磁式動力裝置、機械攪動式動力裝置中的至少一種。
3.根據權利要求1所述的物理氣相沉積設備，其特征在于，所述承載裝置具有用于容置待鍍膜產品的內凹的容置部。
4.根據權利要求3所述的物理氣相沉積設備，其特征在于，所述承載裝置的容置部的開口朝向所述發射源，所述動力裝置連接至所述承載裝置的非開口的一側。
5.根據權利要求3所述的物理氣相沉積設備，其特征在于，所述物理氣相沉積設備包括多個承載裝置。
6.根據權利要求1所述的物理氣相沉積設備，其特征在于，所述動力裝置為所述承載裝置提供勻速或變速的動力。
7.根據權利要求1所述的物理氣相沉積設備，其特征在于，所述物理氣相沉積設備還包括用于監測待鍍膜產品上的鍍膜厚度的膜厚監測裝置，所述膜厚監測裝置位于所述真空鍍膜室內。
8.根據權利要求1所述的物理氣相沉積設備，其特征在于，所述發射源為蒸發源或濺射源。
9.一種物理氣相沉積方法，其特征在于，所述物理氣相沉積方法包括以下步驟：
將多個待鍍膜產品置于真空鍍膜室內；
對真空鍍膜室進行抽真空；
使待鍍膜產品產生上下振動、由里向外的翻轉以及沿預定方向的旋轉；
采用物理氣相沉積法對多個待鍍膜產品進行鍍膜。
10.根據權利要求9所述的物理氣相沉積方法，其特征在于，所述物理氣相沉積方法還包括對待鍍膜產品上的鍍膜厚度進行監測，并根據監測結果確定是否停止鍍膜。
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