[發(fā)明專利]半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711135070.8
• 申請(qǐng)日: 2017-11-16
• 公開（公告）號(hào): CN108666323B
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 二山拓也;四方剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東芝存儲(chǔ)器株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L27/1157
• 分類號(hào): H01L27/1157;H01L27/11578
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 楊林勳

實(shí)施方式提供一種能夠提高動(dòng)作可靠性的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置。一實(shí)施方式的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置具備：第1區(qū)域(BLK)，包含沿著第1方向(X方向)并排地排列著多條的第1配線(SGD)、將相鄰的第1配線(SGD)間分離的第1絕緣膜(SLT2)、及以橫跨相鄰的第1配線(SGD)間的方式設(shè)置的第1柱(MP)；以及第2、第3區(qū)域(SLT1)，以在第2方向(Y方向)上將第1區(qū)域(BLK)夾在中間的方式定位，且包含第2絕緣膜。第1柱(MP)包含導(dǎo)電層、柵極絕緣膜及電荷累積層。設(shè)置在第1區(qū)域(BLK)內(nèi)的第1配線(SGD)的條數(shù)為奇數(shù)條。

[相關(guān)申請(qǐng)]

本申請(qǐng)享有以日本專利申請(qǐng)2017-61208號(hào)(申請(qǐng)日：2017年3月27日)及日本專利申請(qǐng)2017-168249號(hào)(申請(qǐng)日：2017年9月1日)作為基礎(chǔ)申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)。本申請(qǐng)通過參照該基礎(chǔ)申請(qǐng)而包含基礎(chǔ)申請(qǐng)的全部內(nèi)容。

技術(shù)領(lǐng)域

實(shí)施方式涉及一種半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置。

背景技術(shù)

已知一種將存儲(chǔ)單元三維地排列而成的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器。

發(fā)明內(nèi)容

實(shí)施方式提供一種能夠提高動(dòng)作可靠性的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置。

實(shí)施方式的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置具備：第1區(qū)域，包含設(shè)置在半導(dǎo)體襯底上方且沿著作為半導(dǎo)體襯底的面內(nèi)方向的第1方向并排地排列著多條的第1配線、將相鄰的第1配線間分離的第1絕緣膜、及以橫跨相鄰的第1配線間的方式設(shè)置的第1柱；以及第2、第3區(qū)域，以在半導(dǎo)體襯底的面內(nèi)方向且與第1方向不同的第2方向上將第1區(qū)域夾在中間的方式定位，且包含從半導(dǎo)體襯底上設(shè)置到第1配線的高度的第2絕緣膜。第1柱包含導(dǎo)電層、柵極絕緣膜及電荷累積層。設(shè)置在第1區(qū)域內(nèi)的第1配線的條數(shù)為奇數(shù)條。

附圖說明

圖1是第1實(shí)施方式的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置的框圖。

圖2是第1實(shí)施方式的存儲(chǔ)單元陣列的電路圖。

圖3是第1實(shí)施方式的選擇柵極線的平面布局。

圖4是第1實(shí)施方式的字線的平面布局。

圖5是第1實(shí)施方式的區(qū)塊的剖視圖。

圖6是第1實(shí)施方式的區(qū)塊的剖視圖。

圖7是第1實(shí)施方式的存儲(chǔ)單元晶體管的剖視圖。

圖8是第1實(shí)施方式的存儲(chǔ)單元晶體管的剖視圖。

圖9是第1實(shí)施方式的存儲(chǔ)單元晶體管的剖視圖。

圖10是第1實(shí)施方式的存儲(chǔ)單元晶體管的剖視圖。

圖11是第1實(shí)施方式的存儲(chǔ)柱的等效電路圖。

圖12是第1實(shí)施方式的選擇柵極線的平面布局。

圖13是第1實(shí)施方式的選擇柵極線的平面布局。

圖14是第1實(shí)施方式的讀出動(dòng)作時(shí)的各種信號(hào)的時(shí)序圖。

圖15是第1實(shí)施方式的第1變化例的選擇柵極線的平面布局。

圖16是第2實(shí)施方式的寫入動(dòng)作時(shí)的各種信號(hào)的時(shí)序圖。

圖17是第2實(shí)施方式的寫入動(dòng)作時(shí)的各種信號(hào)的時(shí)序圖。

圖18是第3實(shí)施方式的選擇柵極線的平面布局。

圖19是第3實(shí)施方式的選擇柵極線的平面布局。

圖20是第3實(shí)施方式的選擇柵極線的平面布局。

圖21是第3實(shí)施方式的選擇柵極線的平面布局。

圖22是第3實(shí)施方式的第1變化例的選擇柵極線的平面布局。