[發明專利]一種掩模版、掩模蒸鍍組件及蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201711126620.X
• 申請日: 2017-11-14
• 公開（公告）號: CN107761051B
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發明（設計）人: 喬永康;潘晟愷;楊凱
• 申請（專利權）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;G03F1/64;G03F1/76
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

本發明實施例提供一種掩模版、掩模蒸鍍組件及蒸鍍裝置，涉及蒸鍍技術領域，能夠解決在掩模版上支撐條位置處與待蒸鍍基板之間存在較大的間隙，間隙位置處在蒸鍍膜層時易于侵入沉積蒸鍍材料，從而使得掩模蒸鍍的膜層圖案與掩模圖案差異較大的問題。包括：掩模版本體，掩模版本體包括掩模版框架以及掩模版框架環繞的掩模部分，掩模部分包括多個掩模圖案區域以及相鄰掩模圖案區域之間的無效區域。支撐條，支撐條的兩端固定在掩模版框架上，且支撐條跨設于掩模部分并投影于無效區域內，用于支撐掩模版本體。升降組件，設置在掩模版框架上對應支撐條的端部位置，升降組件能夠帶動支撐條的端部沿垂直于掩模版框架所在平面朝向遠離掩模版框架的方向移動。

技術領域

本發明涉及蒸鍍技術領域，尤其涉及一種掩模版、掩模蒸鍍組件及蒸鍍裝置。

背景技術

OLED(Organic Light Emitting Diode，有機發光二極管)顯示面板具有自發光、反應快、亮度高、輕薄等諸多優點，已經逐漸成為顯示領域的主流。

OLED顯示面板包括陣列排布的多個子像素單元，每一個子像素單元包括陽極、發光層和陰極，其中，發光層采用有機電致發光材料形成，目前主要采用掩模版并通過蒸鍍工藝制作在各子像素單元中。掩模版上具有構圖圖案，隨著屏幕PPI(Pixels Per Inch，每英寸內擁有的像素數目)的增多，掩模版上的構圖圖案區域也需要進一步精細化。

對于制作大尺寸OLED顯示面板，由于掩模版尺寸較大，通常采用張網的方式提高掩模版的平整度，并且需要在掩模版上位于掩模圖案以外的區域設置沿張網拉伸方向延伸的支撐條，以對掩模版提供支撐。

但是，一方面，在張網拉伸的作用力下，支撐條靠近中心的部分容易發生上翹變形；另一方面，支撐條通常是通過兩端焊接的方式固定在掩模版上，由于焊接點通常會凸出于掩模版的表面，在將掩模版與待蒸鍍基板之間貼合時，支撐條焊接固定的位置處的掩模版與待蒸鍍基板之間會存在較大的間隙難以緊密貼合，這就導致在掩模蒸鍍過程中，間隙位置處也侵入沉積有膜層，導致待蒸鍍基板上形成的掩模蒸鍍圖案變形，從而導致掩模蒸鍍的精度下降，甚至由于掩模蒸鍍圖案出錯而導致待顯示面板發生顯示異常，致使制作完成的顯示面板報廢。

發明內容

本發明實施例提供一種掩模版、掩模蒸鍍組件及蒸鍍裝置，能夠解決在掩模版上支撐條位置處與待蒸鍍基板之間存在較大的間隙，間隙位置處在蒸鍍膜層時易于侵入沉積蒸鍍材料，從而使得掩模蒸鍍的膜層圖案與掩模圖案差異較大的問題。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

本發明實施例的一方面，提供一種掩模版，包括：掩模版本體，掩模版本體包括掩模版框架以及掩模版框架環繞的掩模部分，掩模部分包括多個掩模圖案區域以及相鄰掩模圖案區域之間的無效區域。支撐條，支撐條的兩端固定在掩模版框架上，且支撐條跨設于掩模部分并投影于無效區域內，用于支撐掩模版本體。升降組件，設置在掩模版框架上對應支撐條的端部位置，升降組件能夠帶動支撐條的端部沿垂直于掩模版框架所在平面朝向遠離掩模版框架的方向移動。

進一步的，升降組件至少包括一個升降平面，支撐條的端部投影于升降平面的邊界范圍內，升降平面帶動支撐條的端部移動。

優選的，升降平面上設置有鏤空區域，鏤空區域對應支撐條和掩模版框架之間的固定位置。

進一步的，升降組件還包括在升降平面背離支撐條的一側設置的彈性元件，彈性元件能夠拉動升降平面朝向掩模版框架的方向移動。

優選的，在掩模版框架設置支撐條的一側表面設置有凹槽，升降組件設置于凹槽內。

優選的，升降平面至少在靠近支撐條的一側邊緣設置有連接板，連接板的一側與升降平面的側邊鉸接、相對的另一側與掩模版本體鉸接。